东营派瑞林镀膜择优“本信息长期有效”

parylene气相沉积涂敷工艺

　 在微电子领域，近些年parylene应用发展较快，真空气相沉积制备的parylene不仅可制精细尺寸的涂层，而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外，在微米以下---规模集成电路制作中,还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料,---是氟代parylene，更被国外集成电路研究者所---，用作多层集成---规模集成电路的层间绝缘介质。 　　 　　parylene气相沉积涂敷工艺涂敷时，在工作上有很强的渗透性，能渗透到smt贴片工件的底部和工作表面疏松的毛细孔中，真正形成完全敷形，均匀一致的防护涂层。parylene气相沉积涂敷工艺没有溶剂、助剂，即使在0.1微米厚也没有，气态小分子在工作表面直接聚合成固态的涂层薄膜，没有通常涂层的固化过程和固化引起的收缩应力，对工件能进行表面加固，但不会引起伤害，也没有因表面张力而引起的涂层弯月面状不均匀。

parylene涂层自身的特性

parylene涂层自身的特性决定了它往往具有非常---的应用，可以说只有---的地方，没有用不到的之处。这需要充分发挥我们从业者需求者的聪明才智，才可以充分发挥出parylene自身的潜能。1、parylene本身具备的防护特性，防盐雾，防氧化，防潮湿等 “三防”---异，且极耐强酸强碱，而涂敷过程不饱和分子级自由基可以说无孔不入，注定parylene涂层是---的部件内孔腔甚至不锈钢管道内防腐涂层,尤其在极其---的强酸强碱环境中对相关部件进行强化防护，以尽可能延长其使用寿命，而---降低因频繁更换相应部件而导致的大量的成本浪费。2、对磁铁铸件外壳和其它内部金属磁盘驱动部件进行涂敷可以固定微小的金属颗粒和其它玷染物，否则对于很小容忍度的产品来说，其部件就可能发生故障。

        近年来在传感器表面镀膜parylene已经成为一种趋势，经parylene镀膜防护的传感器包括汽车传感器、腐蚀环境用传感器、生物医学传感器、声学传感器、生物医学电极和植入传感器等等，parylene对传感器的保护除了绝缘防护外，更多是用做---环境防护材料。

        parylene用du特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，具有其他涂层难以比拟的---势。它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面。

涂层厚度可控制：

1.涂层厚度取决于原料消耗量及气体单体在沉积腔内的驻留时间;

2.通常的沉积速率为0.5-5um/hour,与沉积温度,自由基浓度有关。