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-质谱检漏仪的主要配置

科仪-产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；真空环境模拟设备等-产品。4、在-两侧的是氢质荷比为2和双电荷原子碳质荷比为6，质荷比都与-相差较大。今天科仪-的小编就和大家分享一下-质谱检漏仪的主要配置有哪些，希望对您有所帮助！

1. 检漏仪-分子泵

2. 机械泵或者干泵

3. 定制检漏仪-电磁阀

4. 内置标准漏口

5. 放大器

6. 采用质谱-模块

以上是科仪-为您一起分享的内容，科仪-生产-检漏，欢迎新老客户莅临。

-质谱检漏仪的应用拓展三

1电子行业

微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、-起博器。

2真空行业，仪器、仪表行业

管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加1速器、加1速器、辐照加1速器、镀膜机、薄膜真空计。

3核工业

-分离装置、存储装置、核发电装置。

如需了解更多-质谱检漏仪的相关信息，欢迎关注北京科仪-真空技术有限公司网站或拨打图片上的电话询！

真空箱-检漏及回收系统在汽车空调的应用一

水检和-检两种检漏方法的分析

目前，水检和-检两种检漏方法国内汽车空调两器检漏主要的方法，下面将分析两种检漏方法的优缺点。

1.1 传统水泡法检测分析

水泡检漏法，属于检测精度要求不高的粗检漏，就是将被检工件充入一定压力的干燥压缩空气或者是氮气，然后放入水中，观察是否有气泡从被检工件中跑出来，如果有，则说明漏，而且-什么位置泄漏，一般只确定被检件是漏还是不漏，而不需定量。背压法的检漏标准主要有qj3212-2005《-质谱背压检漏方法》、gjb360a-1996《电子及电气元件试验方法方法112密封试验》，主要应用于各种电子元器件产品检漏。但并不是说气泡检漏就不能定量。在某些情况下，气泡检漏也可以定量。检出气泡的漏率与气泡直径、气泡形成速率、充气的种类有关。

因此，对于空调两器检漏来说，采用水检方法，灵敏度较低。受人为因素影响，漏判误判率会明显增加。另外，工件水检后，外表面有水，需烘干处理，耗电多，耗费劳动力也多。但水检法也有优点，就是操作简单直观，而且能够查找漏点位置。

1.2 -质谱检漏方法分析

-质谱检漏是以-作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。

-质谱检漏法有优点在于：-是惰性气体，对-无污染，使用安全；-原子小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。-气在-中含量小5ppm，不易受干扰。-质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广。

目前国内生产-质谱检漏仪较小可检漏率可达到5.0×10-13 pa·m3/s。目前，-比较流行的针对空调两器检漏方法，多采用真空箱法。

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-质谱检漏仪故障与处理

(1)内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。氢气有些性能如小、易通过漏孔比-还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底-且波动大，以致灵敏度大-低，所以很少采用。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到-震动，此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

(2)定位方法

采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束，以一定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将-源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。喷吹时，要严格控制-源的流量，尽量采用喷枪咀流量小的喷枪，提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。

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