工厂无尘室设备搬迁作业方案服务介绍「多图」
所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。然而无尘室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。 无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室主要之作用在于控制产品如硅芯片等所接触之-的洁净度日及温湿度,使产品能在一个-之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的a。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于a,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。它适用于精密机械工业、电子工业半导体、集成电路等宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业光盘、胶片、磁带生产lcd液晶玻璃、电脑硬盘、电脑磁头生产等多种不同行业。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道clean tunnel:以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。为了防止由静电吸附而引起的微粒附着,通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ulsi制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:a.弹性扩充容易; b.维修设备时可在维修区轻易执行。
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无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之-的洁净度日及温湿度,使产品能在一个-之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。洁净室内工作的人员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大,这才是很重要的。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
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