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空气洁净度等级测试

空气洁净度等级的测试一般采用粒子计数器，采样量应大于1l/min。室内的空气温度和湿度，相关的---压力等这些相关的参数同时要求进行严格的控制。测试粒径大于等于0.5μm粒子时，宜采用光散射粒子计数器；测试粒径大于等于0.1的粒子时，宜采用大流量激光粒子计数器采样量每分钟28.3l；测试粒径小于0.1μm的超微粒子时，宜采用凝聚核激光粒子计数器。洁净度等级测试前，应---行风速，风量、静压差、过滤器检漏和围护结构密闭性检测。

洁净室工程施工的内容

由于各类洁净室的用途不同，洁净室生产的产品也不同，对空气洁净度的要求也不同，因此各类洁净室的工程建设内容也存在一定的差异。将测试平面分成若干面积相等的栅格，栅格数量不少于测试截面面积ｍ2的平方，测点在每个栅格的中心，全部测点不少于3点。对微电子产品生产用洁净室来说,其洁净室的施工内容不包括厂房主体结构施工,下同主要有：食品工厂洁净室建筑装饰含回风地板等施工,净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装,高纯水系统及其管线的安装,高纯气体系统含特种气体供应等及其管线安装;化学品供应系统及其管线的安装,各种排风和排气系统及其处理设备的安装,消防安全报警系统及其控制设备的安装,变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装,照明系统及灯具的安装,防微振装置的安装,生产工艺设备及其配管、配线的安装等。

洁净室建筑防火设计中应把握的基本原则

消防设施。压力和气流:为了---房间的洁净度，必须防止外面污染气流进入室内，要达到这个目的，房间里必须保持正压。洁净室按规范要求都设置有消防给水、灭火设备和火灾自动报警系统，主要是为了及时发现火灾，将火灾事故消灭在初始阶段。对于洁净室由于其具有技术夹层和用于回风空间的下夹层，我们在布置报警探头时-考虑，这样更有利于及时发现火情。同时，对于有大量精密和贵重设备的洁净室，我们还可以引入vesda这种早期预警空气采样报警系统，比常规报警器提前3到4小---警，---提高了火灾的探测能力，从而达到及时发现，快速处理，将火灾损失减少到限度的要求。

洁净室建设原则

1 当产品要求洁净度为100级时，选用层流流型；当产品要求洁净度为1000~100000级时，选用乱流流型。

2 减少涡流，避免把工作区以外的污染物带入工作区。

3 为了防止灰尘的二次飞扬，气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。

4 工作区的气流应均匀，流速必须满足工艺和卫生的要求；洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来，使污染物在扩散之前便流向回风口。