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伯东 KRI 考夫曼射频离子源在 PCB 钻头铣刀上的应用

发布者:伯东企业(上海)有限公司  时间:2023-8-3 113.90.157.*

电子工业的飞速发展对线路板制造业的要求越来越高, 线路板层数越来越高, 孔密越来越大并向微孔化不断发展, 某国内制造商为了铣刀进行铣边及成型加工时, 减少产品的披锋、毛刺及铣刀断刀, 采用伯东 kri 考夫曼---型射频离子源 rficp 380辅助钻头铣刀上镀膜.


该制造商的真空离子镀膜技术, 利用 kri 考夫曼---型射频离子源 rficp 380 轰击靶材形成离子, 并使离子在强磁场的驱动下吸附于钻头或锣刀上形成镀层, 制备出镀膜钻头及镀膜铣刀.



用于溅射的 kri ---型射频离子源 rficp 380 技术参数:

portant;"> 射频离子源型号

portant;"> rficp 380

portant;"> discharge 阳极

portant;"> 射频 rficp

portant;"> 离子束流

portant;"> >1500 ma

portant;"> 离子动能

portant;"> 100-1200 v

portant;"> 栅极直径

portant;"> 30 cm φ

portant;"> 离子束

portant;"> ---

portant;"> 流量

portant;"> 15-50 sccm

portant;"> 通气

portant;"> ar, kr, xe, o2, n2, h2, 其他

portant;"> 典型压力

portant;"> < 0.5m torr

portant;"> 长度

portant;"> 39 cm

portant;"> 直径

portant;"> 59 cm

portant;"> 中和器

portant;"> lfn 2000



理由:

---型溅射离子源一方面可以增加束流密度, 提高溅射率; 另一方面减小离子束的散射面积, 减少散射的离子溅射在靶材以外的地方引起污染



运行结果:

结果表面, 采用镀膜钻头, 可以明显增加钻孔孔限, 减少披锋, 节约成本;
采用镀膜铣刀进行铣边及成型加工时, 有利于减少产品的披锋、毛刺及铣刀断刀, 提高生产效率及节约成本








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