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涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时，叶片将动量传给气体分子。当分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。叶片高速旋转，其周边的线速度一般200~300m/s，相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空，涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此，涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出---有效。例如对于氮气，其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子较小的气体能力较差，例如氢气，其压缩比仅有103 。

新设计了独立和一体式控制器，还开发了全新的智能控制软件。原因：负载太大，系统真空度不够解决方法：检查系统分子泵轴承为什么会烧毁原因：缺乏定期维护冷却---导致过热没有及时换油抽除的气体中含有大量粉尘解决方法：及时维护检查冷却系及时换油隔离粉尘。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度，自动调整泵的功率，并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。控制器新增加的主动刹车功能可在不破空的情况下快速停机，节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间，延长了轴承寿命。

分子泵叶片破碎的原因：

　　答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：

　　、误操作;比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。

静环密封圈越紧越好。静环密封圈基本处于静止状态，相对较紧密封效果会好些，但过紧也是有害的。一是引起静环密封因过度变形，影响密封效果；二是如果静环材质是石墨，一般较脆，过度受力极易引起碎裂；三是安装、拆卸困难，极易损坏静环。

塑料薄膜堆积指在圆晶表层转化成多种多样塑料薄膜，这种塑料薄膜能够 是导体和绝缘体、半导体材料或电导体。并且油泵操作温度较高，如果散热效果较差，会直接影响客户的测试结果。他们由不一样的原材料构成，是应用多种多样加工工艺生长发育或堆积的。通用性的堆积技术性有有机化学液相淀积cvd、挥发和磁控溅射pvd。varian分子泵销售中心

一般来说，在其中也要参杂---温≤500℃淬火工艺等热处理方法，用于提高金属材料层和半导体材料中间的低电阻器触碰、清除热应力等。机器设备运作全过程中必须高清洁的真空，一般选用以磁悬浮分子泵---的隔膜真空泵真空设备。varian分子泵销售中心

进出口贸易法兰盘、冷却循环水安裝

、泵通道：对正、对称性扭紧

、泵出入口：避免 移位

、冷却循环水：无渗水；通道压力0.2mpa；温度20±５℃；水体回应无沉淀

留意：

工作温度：风冷式需低于32℃;水冷散热能致40℃

通道气体压强：强制性风冷式<0.1pa;当然风冷式<0.01pa。varian分子泵销售中心

电缆线安裝常见问题

、对正槽孔---

、用螺帽扭紧，边插边拧

、查验及时。varian分子泵销售中心