当前位置: 首页>辽宁企业网>企业资讯 »真空腔体订做报价「多图」

真空腔体订做报价「多图」

发布者:沈阳鹏程真空技术有限责任公司  时间:2021-4-26 






真空腔体的主要作用

以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容,沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产真空腔体,欢迎新老客户莅临。

真空腔体是保持内部为真空状态的容器,真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢(表1)是含cr10%——20%的低碳钢,具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270——900℃工作等优点,在高真空和真空系统中,应用广泛。




真空腔体烘烤注意事项

真空腔体烘烤时的真空度变化结果,烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3 pa时,开始给加热带逐渐通电加热,保持腔体在150℃下进---时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵,同时也给离子泵通电进行加热烘烤,这时的真空腔体只靠分子泵和前级泵来排气。随着腔体温度的升高,腔体内表面吸附的水蒸气等气体分子大量放出,真空度会迅速恶化。气体的放出量随着烘烤时间的延长而逐渐减少,因此真空度也逐步好转。停止烘烤时,切断加热带和离子泵的烘烤电源,然后趁腔体仍处在高温的状态下对钛升华泵进行除气处理。钛升华泵的除气处理是指给ti丝通电加热,但又控制温度在ti升华温度之下的操作。钛升华泵除气处理的目的是清除吸附在ti丝表面的气体分子以及其他可能的污染物,以---钛升华泵的正常工作。充分完成钛升华泵的除气处理之后,启动离子泵和钛升华泵,加大真空排气的力度。随着排气力度的增大和由于腔体温度降低而放出气体的减少,系统的真空度会迅速好转。

新完成的腔体一次烘烤时,一般需要一周时间,重复烘烤后单独的烘烤时间可以适当减少。为了更准确地测量真空度,停止烘烤后也应该对真空计进行除气处理。如果真空泵能力充分而且烘烤时间充足的话,烘烤后真空度可提升几个数量级。



真空腔体中抽气管道的设计原则

为一个工艺选择真空泵时,工艺室和泵之间的抽气管道可能和泵的选择一样重要。要使腔体抽气速率达到大,需要笔直的抽气管道(长度短)并使用直径尽可能大的管道。

看起来似乎很简单,但是这里有许多因素需要考虑。实际上,如果我们从物理学角度考虑,就可以明确哪些是关键因素。真空腔体

在稳定状态的条件下,如果抽气管道内没有气源(泄漏)或气体减少(冷凝),抽气管道任何截面的流量必须相同。简单而言,进入工艺室的气体必须从泵出来。

已知气体摩尔流量为m(公斤/摩尔)、抽气速率为s(立方米/秒)、压力为p(帕)、温度为t(开尔文),则流量计算如下:

流量(公斤/秒)=(m*p*s)/(ro*t)

ro=通用气体常数

对于大多数抽气系统而言,气体温度(t)在抽气管道中不会---减少,而且可以合理地假定为恒定的。

在此情况下,抽气管道任何截面(p*s)的乘积(称为通量)相同。真空腔体

由于抽气管道的压力差是气体流动的推动力,可见压力(p)必须在工艺室中为高值,在泵入口为低值。

由于我们假定通量恒定,可见抽气速率(s)在工艺室为小值,在泵入口为大值(等于泵速)。




真空腔体介绍

真空腔体真空是指低于---压力的气体的给定空间,真空是相对于---压来说的,并非空间没有物质存在.

真空是物理学里面的一个概念,开始反映的是空无一物的状态.即真空并不是无物而是有实物粒子和虚粒子转化的,但整体对外是不显示物理属性的宏观总体.真空就像是一个能量海,不断振荡并且充满着---能量.

真空的属性确实是需要用空间来描述,但只是种数学表示,是为了方便研究才引入的参量,并不是说真空的性质取决于空间.

真空腔体是建立在低于---压力的环境下,以及在此环境中进行工艺制作、科学试验和物理测量等所需要的技术.

用现代抽气方法获得的很低压力,每立方厘米的空间里仍然会有数百个分子存在.

气体稀薄程度是对真空的一种客观量度,直接的物理量度是单位体积中的气体分子数.气体分子密度越小,气体压力越低,真空就越高.真空常用帕斯卡或托尔做为压力的单位.




联系时请说明是在云商网上看到的此信息,谢谢!

推荐关键词:多靶磁控溅射仪,单靶磁控溅射仪,磁控镀膜机
本页网址:https://www.ynshangji.com/xw/21791294.html

声明提示:

本页信息(文字、图片等资源)由用户自行发布,若侵犯您的权益请及时联系我们,我们将迅速对信息进行核实处理。

云商通计划,助力您企业网络营销

免责声明:本站商机信息展示的全部文字,图片,视频等全部由第三方用户发布,云商网对此不对信息真伪提供担保,如信息有不实或侵权,请联系我们处理
风险防范建议:合作之前请先详细阅读本站防骗须知。云商网保留删除上述展示信息的权利;我们欢迎您举报不实信息,共同建立诚信网上环境。

北京 上海 天津 重庆 河北 山西 内蒙古 辽宁 吉林 黑龙江 江苏 浙江 安徽 福建 江西 山东 河南 湖北 湖南 广东 广西 海南 四川 贵州 云南 西藏 陕西 甘肃 青海 宁夏 物流信息 全部地区...

本站图片和信息均为用户自行发布,用户上传发布的图片或文章如侵犯了您的合法权益,请与我们联系,我们将及时处理,共同维护诚信公平网络环境!
Copyright © 2008-2026 云商网 网站地图 ICP备25613980号-1
当前缓存时间:2025/11/16 1:21:26