真空腔体订做报价「多图」
真空腔体烘烤时的真空度变化结果,烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3 pa时,开始给加热带逐渐通电加热,保持腔体在150℃下进---时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵,同时也给离子泵通电进行加热烘烤,这时的真空腔体只靠分子泵和前级泵来排气。随着腔体温度的升高,腔体内表面吸附的水蒸气等气体分子大量放出,真空度会迅速恶化。气体的放出量随着烘烤时间的延长而逐渐减少,因此真空度也逐步好转。停止烘烤时,切断加热带和离子泵的烘烤电源,然后趁腔体仍处在高温的状态下对钛升华泵进行除气处理。钛升华泵的除气处理是指给ti丝通电加热,但又控制温度在ti升华温度之下的操作。钛升华泵除气处理的目的是清除吸附在ti丝表面的气体分子以及其他可能的污染物,以---钛升华泵的正常工作。充分完成钛升华泵的除气处理之后,启动离子泵和钛升华泵,加大真空排气的力度。随着排气力度的增大和由于腔体温度降低而放出气体的减少,系统的真空度会迅速好转。
新完成的腔体一次烘烤时,一般需要一周时间,重复烘烤后单独的烘烤时间可以适当减少。为了更准确地测量真空度,停止烘烤后也应该对真空计进行除气处理。如果真空泵能力充分而且烘烤时间充足的话,烘烤后真空度可提升几个数量级。
看起来似乎很简单,但是这里有许多因素需要考虑。实际上,如果我们从物理学角度考虑,就可以明确哪些是关键因素。真空腔体
在稳定状态的条件下,如果抽气管道内没有气源(泄漏)或气体减少(冷凝),抽气管道任何截面的流量必须相同。简单而言,进入工艺室的气体必须从泵出来。
已知气体摩尔流量为m(公斤/摩尔)、抽气速率为s(立方米/秒)、压力为p(帕)、温度为t(开尔文),则流量计算如下:
流量(公斤/秒)=(m*p*s)/(ro*t)
ro=通用气体常数
对于大多数抽气系统而言,气体温度(t)在抽气管道中不会---减少,而且可以合理地假定为恒定的。
在此情况下,抽气管道任何截面(p*s)的乘积(称为通量)相同。真空腔体
由于抽气管道的压力差是气体流动的推动力,可见压力(p)必须在工艺室中为高值,在泵入口为低值。
由于我们假定通量恒定,可见抽气速率(s)在工艺室为小值,在泵入口为大值(等于泵速)。
真空腔体真空是指低于---压力的气体的给定空间,真空是相对于---压来说的,并非空间没有物质存在.
真空的属性确实是需要用空间来描述,但只是种数学表示,是为了方便研究才引入的参量,并不是说真空的性质取决于空间.
真空腔体是建立在低于---压力的环境下,以及在此环境中进行工艺制作、科学试验和物理测量等所需要的技术.
用现代抽气方法获得的很低压力,每立方厘米的空间里仍然会有数百个分子存在.
气体稀薄程度是对真空的一种客观量度,直接的物理量度是单位体积中的气体分子数.气体分子密度越小,气体压力越低,真空就越高.真空常用帕斯卡或托尔做为压力的单位.
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