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于是人们采用高频电源，回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。

但高频磁控溅射电源昂贵，溅射速率很小，同时接地技术很复杂，因而难-采用。为解决此问题，发明了磁控反应溅射。就是用金属靶，

加入氢气和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化，与反应气体化合生成氮化物或氧化物。

在显示器件方面，录象磁头、高密度录象带以及平面显示装置的透明导电膜、---管光导膜、显示管荧光屏的铝衬等也都是采用真空镀膜法制备。

此外还可以对珠宝、钟表外壳表面、纺织品金属花纹、金丝银丝线等蒸镀装饰用薄膜，以及采用溅射镀或离子镀对刀具、模具等制造超硬膜。

近两年内所兴起的多弧离子镀制备钛金制品，如不锈钢薄板、镜面板、包柱、扶手、床托架、楼梯栏杆等目前正在盛行。