丰派辉光离子渗氮可量尺定做「丰热科技」

湖北丰热科技有限公司原武汉离子热处理研究所，制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

辉光离子渗氮的特点有：可节约能源和氨的消耗量，电能消耗为气体氮化的1/2～1/5，氨气消耗为气体氮化的1/5～1/20。低压气体放电的一种类型，在发射光谱分析中用作气体分析和难激发元素分析的激发光源。易于实现局部氮化，只要设法使不欲氮化的部分不产生辉光即可1，非渗氮部位便于保护，采用机械屏蔽、用铁板隔断辉光，即可保护。

利用稀薄气体的辉光放电现象加热工件表面和电离化学热处理介质，使之实现在金属表面渗入欲渗元素的工艺称为辉光放电离子化学热处理，简称离子化学热处理。因为在主要工作空间内是等离子体，故又称等离子化学热处理。

1992年，roth小组在5mm---气间隙实现了apgd，并声称在几个毫米的空气间隙中也实现了apgd, 主要的实验条件为湿度低于15% 、气体流速50l/min、频率为3khz的电源并且和负载阻抗匹配。辉光离子氮化是指利用辉光放电现象使工件表面渗入氮原子的热处理方法。他们认为“离子捕获”是实现apgd的关键。

roth等人在实验室的一台气体放电等离子体实验装置中实现了ar、he和空气的“apgd”。阴极靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值，1高时可达千伏量级。1993年okazaki小组利用金属丝网丝直径0.035mm，325目电---pet膜介质、频率为50hz的电源，在1.5mm的气体亚气、氮气、空气间隙中做了大量的实验，并宣称实现了---压辉光放电。