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NR27 25000P光刻胶公司常用解决方案「赛米莱德」

发布者: 北京赛米莱德贸易有限公司  时间:2021-6-29 






   光刻胶的主要技术参数

1.灵敏度sensitivity

灵敏度是衡量光刻胶---速度的指标。光刻胶的灵敏度越高,所需的---剂量越小。单位:毫焦/平方厘米或mj/cm2。

2.分辨率resolution

区别硅片表---邻图形特征的能力。一般用关键尺寸cd,critical dimension来衡量分辨率。形成的关键尺寸越小,光刻胶的分辨率越好。

光刻胶的分辨率是一个综合指标,影响该指标的因素通常有如下3个方面:

(1) ---系统的分辨率。

(2) 光刻胶的对比度、胶厚、相对分子等。一般薄胶容易得到高分辨率图形。

(3) 前烘、---、显影、后烘等工艺都会影响光刻胶的分辨率。  

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硅片模具加工如何选择光刻胶呢?

注意事项:

若腐蚀液为碱性,则不宜用正性光刻胶;

看光刻机型式,若是投影方式,用常规负胶时氮气环境可能会有些问题

负性胶价格成本低,正性胶较贵;

工艺方面:负性胶能---地获得单根线,而正性胶可获得孤立的洞和槽;

健康方面:负性胶为有机溶液处理,不利于环境;正性胶属于水溶液,对健康、环境无害。

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光刻胶介绍

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光刻胶是电子领域微细图形加工关键材料之一,是由感光树脂、增感剂和溶剂等主要成分组成的对光敏感的混合液体。在紫外光、深紫外光、电子束、离子束等光照或辐射下,其溶解度发生变化,经适当溶剂处理,溶去可溶性部分,然后得到所需图像。 光刻胶作为技术门槛---的电子化学品一直被国际企业垄断。 随着大力研发和投入, 国内企业已逐步从低端 pcb 光刻胶发展至中端半导体光刻胶的量产。




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