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超精密研磨技术是超精密加工技术的一种。超精密加工技术指的是超过或达到本时代精度界限的---加工。超精密加工其实是个相对概念,而且随着工艺技术水平的普提高,不同年代有着不同的划分界限,但并严格统一的标准。从现在机械加工的工艺水平来看,通常把加工误差小于0.01um、表面粗糙度ra小于0.025um的加工称为超精密加工。

随着科学技术的发展,光学、机械、电子等学科交叉的各种系统被制造出来,为---系统中关键元件的高量和,人们对加工精度的要求也越来高,运用精密研磨技术不仅可以获得电子,光学计算机元件的,制造出-集成电路的片水晶于基片等晶体期,满足特殊材料的表平面粗糙度和超平滑的表面的要求,还可达到材料两端面严格平行、表面无变质层等,并且达到纳米级或更高的加工精度和无伤的表面加工,正是由于其的长处,众多材料的终加工均采用超精密平面研磨技术超精密平面研磨技术发展到现在,关研磨方式,研磨原理,以及研磨设备等的研究,已经有重大突破,现在加工精度已经可以达到亚纳米级甚至纳米级精度,并且针对不同材料不同要求已经开发了很多---的研磨方法以及设备工具,但是,不能把超精密研磨技术看成是一种孤立的加工方法和单纯的工艺间题,在现代化加工中,应该从工程整体的角度来把问题,要实现超平面研磨,不仅需要超精密的设备和工具,超稳定的环境条件,还需要有经验的工人和熟练的加工技术,只有将各个的技术批集结起来,才有可能实现我们预期的要求。