真空腔体公司-「多图」

真空腔体制造技术介绍

真空腔体在薄膜涂层、微电子、光学器件和材料制造中，是一种能适应高真空环境的特殊容器。真空腔体通常包括一系列部品——如钟形罩、基板、传动轴以及辅助井——这些构成一个完整的真空腔体。

复杂的真空腔体通常需要定制，即针对应用终端进行专门的设计和制作。某些常见的真空腔体已经过预先设计，如手套箱、焊接室、脱气箱、表面分析真空腔等。例如脱气箱和手套箱一般采用低真空环境，可用于焊接，或用于塑料制品、复合材料层压板、封装组件等的脱气。

真空腔体的主要作用

以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容，沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产真空腔体，欢迎新老客户莅临。

真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢(表1)是含cr10%——20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270——900℃工作等优点，在高真空和真空系统中，应用广泛。

真空腔体中抽气管道的设计原则

为一个工艺选择真空泵时，工艺室和泵之间的抽气管道可能和泵的选择一样重要。要使腔体抽气速率达到大，需要笔直的抽气管道(长度短)并使用直径尽可能大的管道。

看起来似乎很简单，但是这里有许多因素需要考虑。实际上，如果我们从物理学角度考虑，就可以明确哪些是关键因素。真空腔体

在稳定状态的条件下，如果抽气管道内没有气源(泄漏)或气体减少(冷凝)，抽气管道任何截面的流量必须相同。简单而言，进入工艺室的气体必须从泵出来。

已知气体摩尔流量为m(公斤/摩尔)、抽气速率为s(立方米/秒)、压力为p(帕)、温度为t(开尔文)，则流量计算如下：

流量(公斤/秒)=(m*p*s)/(ro*t)

ro=通用气体常数

对于大多数抽气系统而言，气体温度(t)在抽气管道中不会---减少，而且可以合理地假定为恒定的。

在此情况下，抽气管道任何截面(p*s)的乘积(称为通量)相同。真空腔体

由于抽气管道的压力差是气体流动的推动力，可见压力(p)必须在工艺室中为高值，在泵入口为低值。

由于我们假定通量恒定，可见抽气速率(s)在工艺室为小值，在泵入口为大值(等于泵速)。