河北生物C级无尘车间-「无锡谷能净化」

超净工作台应用

4.2.1 根据环境的洁净程度，可定期一般2～3个月将粗滤布涤纶无纺布拆下清洗或给予更换。

4.2.2 定期一般为一周对环境周围进行灭菌工作，同时经常用纱布沾酒精或丙1酮等有1机1溶1剂将紫外线杀菌灯表面擦干净，保持表面清洁，否则会影响杀菌效果。

4.2.3 当加大风机电压已不能使风速达到0.32m/s时必须更换高1效空气过滤器。

4.2.4 更换过滤器时，可打开顶盖，更换时应注意过滤器上的箭头标志，箭头指向即为层流气流向。

4.2.5 更换高1效过滤器后，应用y09-4型尘埃粒子计数器四周边框密封是否---，调节风机电压，使操作区平均风速保持在0.32-0.48m/s范围内，再用y09-4型尘埃粒子计数器检查洁净度。

单向流洁净室原理

    在单向流洁净室内，从送风口到回风口，气流流经途中的断面几乎没有什么变化，加上进风静压箱和高1效过滤器的均压均流作用，全室断面上的流速比较均匀，而至少在工作区内流线单向平行，没有涡流。这也就是单向流洁净室的三大特点。这里的流线单向平行，是指时均流线彼此平行，方向单一，并且干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用，而是靠洁净气流推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，达到净化室内空气的目的。所以，前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”---称之为“被挤压的弱空气射流”。4、在架台旁应有牢固的梯子，梯凳应用直径4毫米铁疆绑牢，不许用钉子钉，架台所能承受的重量应以明显的木板标明，挂在人上下的地方。干净空气就好比一个空气活塞，沿着房间这个“气缸”，向前下推进，而使尘粒只能前下进，没有返回，把原有的含尘浓度高的空气挤压出房间。

?洁净室中的温湿度控制

   湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。含尘气流进人锥形的百叶窗分离器后，大部分气体从栅条之间缝隙流出。对于硅片生产jia温度范围为35—45%。