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---质谱检漏仪介绍

是专门设计的以---气作示踪气体进行检漏的质谱仪称为---质谱检漏仪。这种仪器除灵敏度高外，还具有适应范围广、定位定量准确、---、安全、反应速度快等优点。---质谱检漏仪中用得比较多的是90°和180°的磁偏转型质谱仪。

当一个带电质点正离子以速度v进入均匀磁场的分析器中，如果速度v的方向和磁场h的方向相垂直，则它的运动轨迹为圆。---质谱检漏仪的结构组成---质谱检漏仪——质谱室不同类型的---质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个---高真空的质谱室外壳中。当磁场的磁通密度一定时，不同质荷比m/e的离子在磁场中都有相应的运输半径，也就是都有相应的圆轨迹，这样，不同质荷比的带电粒子在磁场分析器中运动后就会彼此分开。如果在离大运动的路径中安置一块档板将其他离子档掉，而在对应的---离子运动半径位置的档板上开一狭缝，狭缝后安置离子接收极，这样的只有---离子才能通过狭缝而被接收极接收形成---离子流，并经放大器放大后由测量仪表指示出来。检漏时，如果用---气喷吹漏孔，---气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中，使检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。 

---质谱检漏仪的结构组成

---质谱检漏仪——质谱室

不同类型的---质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个---高真空的质谱室外壳中。 

1离子源

离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝阴极、离化室及离子加速极组成。

灯丝在真空中通电加热后发射电子，在离化室与灯丝之间的电场的作用下，电子加速穿过离化室顶部狭缝进入离化室，在离化室中与气体分子发生多次碰撞后损失能量，然后打到分子电离形成正离子，正离子在离化室与加速极之间的电原u即离子加速电压作用下，相继穿过离化室正面的矩形狭缝和加速极的矩形狭缝，由于加速电场对离子做的功转变为离子的动能，便形成具有一定能量的离子束。---质谱检漏仪的组成——真空系统仪器的真空系统提供质谱正常工作所需要的真空条件，不同型号的检漏仪其真空系统有较大的差别。由于离子是由中性气体分子失去z个带负电荷e的电子而形成的，所以离子电荷为正的ze。由于各种气体的离子均受同一电场的加速，当它们的电荷量相等时，它们的能量相等，但由于质荷比不同，故运动速度也就不同。 

2分析器

分析器作用是使不同质荷比的离子按不同轨迹运动，从而将它们彼此分开，仅使---离子通过其出口隙缝。分析器由一个外加均匀磁场及一个出口电极组成。磁场方向与离子束入射方向垂直。

3收集极

收集极是对准出口电极狭缝安装的，其作用是收集穿过出口电极狭缝的---离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。由于各种气体的离子均受同一电场的加速，当它们的电荷量相等时，它们的能量相等，但由于质荷比不同，故运动速度也就不同。由于---离子一般只有10-13~10-12a，要使小电流放大器输入信号电压足够大，则输入电阻必需很大一般高于1010欧，放大用的静电计管必须要高度绝缘，所以把高阻及静电计管放在高真空的质谱室中。

---质谱检漏仪的选择

选择---质谱检漏仪时主要考虑以下问题：

1仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合吸枪法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有多工位的检漏仪。

2仪器的灵敏度能满足检漏的要求。---生产的不同类型的---质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。

3被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。

4被检件容积如果较大，必须选用预抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。

5如果被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。

6如果检漏地点不固定，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。

7在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。