定制真空腔体公司-,沈阳鹏程真空技术

真空腔体产品特点

沈阳鹏程真空技术有限责任公司——真空腔体供应商，我们为您带来以下信息。

1.真空环境使用，高低温真空环境使用；采用不锈钢，铝，陶瓷等出气率低的材料制作；

2.标准化设计，可根据客人要求定制不同形状与使用环境腔体；

3.---气检漏，保压老化，达到客户的要求。

应用范围：军类单位，大专院校，科研院所，航空航天，生物制药，微电子，新能源，新材料等等。

真空腔体的焊接原则

真空腔体的弧焊接，原则上必须采用内焊，即焊接面是在真空一侧，以免存在死角而发生虚漏。

真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有机物，成为影响真空度的放气源。为实现真空，要对腔体进行150——250℃的高温烘烤，以促使材料表面和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带，加热带的外面再用铝箔包裹，防止热量散失的同时也可使腔体均匀受热。

真空腔体烘烤注意事项

真空腔体烘烤时的真空度变化结果，烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3 pa时，开始给加热带逐渐通电加热，保持腔体在150℃下进---时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵，同时也给离子泵通电进行加热烘烤，这时的真空腔体只靠分子泵和前级泵来排气。随着腔体温度的升高，腔体内表面吸附的水蒸气等气体分子大量放出，真空度会迅速恶化。气体的放出量随着烘烤时间的延长而逐渐减少，因此真空度也逐步好转。停止烘烤时，切断加热带和离子泵的烘烤电源，然后趁腔体仍处在高温的状态下对钛升华泵进行除气处理。钛升华泵的除气处理是指给ti丝通电加热，但又控制温度在ti升华温度之下的操作。钛升华泵除气处理的目的是清除吸附在ti丝表面的气体分子以及其他可能的污染物，以---钛升华泵的正常工作。充分完成钛升华泵的除气处理之后，启动离子泵和钛升华泵，加大真空排气的力度。随着排气力度的增大和由于腔体温度降低而放出气体的减少，系统的真空度会迅速好转。

新完成的腔体一次烘烤时，一般需要一周时间，重复烘烤后单独的烘烤时间可以适当减少。为了更准确地测量真空度，停止烘烤后也应该对真空计进行除气处理。如果真空泵能力充分而且烘烤时间充足的话，烘烤后真空度可提升几个数量级。