无窗洁净室的照明方式：
(1)一般照明它指不考虑特殊的局部需要，为照亮整个被照面积而设置的照明。
(2)局部照明这是指为增加某一地点如工作点的照度而设置的照明。但在室内照明由一般不单独使用局部照明。
(3)混合照明这是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明，其中一般照明的照度按《洁净厂房设计规范》应占总照度的10%—15%，但不低干150lx。 单位被照面积上接受的光通量即是照明单位勒克斯(lx)。
乱流式 (turbulent flow)
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(hepa) 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板乱流式回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
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洁净隧道(clean tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。在一间没有任何障碍物的空房间，单向流用比前面提到的低得多的风速，就可以很快将污染物清除。
洁净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。
大部分净化厂房尤其电子工业用的洁净厂房都有严格的恒温、恒湿的要求，不仅对厂房内的温、湿度有严格的要求，而且对温度和相对湿度的波动范围也有严格的要求。因此，在净化空调系统的空气处理上要采取相应的措施，例如：夏季要降温、去湿因为夏季室外空气是高温、高湿的，冬季要加热加湿因为冬季室外空气是寒冷干燥的，室内湿度过低会产生静电，静电对电子产品的生产是致命的。防静电洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其的一个不可忽视的方面。
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