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高纯/特种气体的概念

半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类：

1.普通气体：也叫大宗气体，主要有：h2 、n2 、o2 、ar 、he等。

2.特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。

半导体制造用气体按照使用时的危险性分类：

1.可燃、助燃、易然易暴气体：h2 、ch4、h2s、nh3 、sih4、ph3 、b2h6、sih2cl3、clf3、sihcl3等

2.有毒气体：ash3、ph3 、b2h6等

3.助燃气体：o2 、n2o、f2 、hf等

4.窒息性气体：n2 、he 、co2、ar等

5.腐蚀性气体：hcl 、pcl3 、pocl3 、hf、sif4、clf3等

目前市面上出现的气体控制器大概有以下几种类型，今天我们就来分别介绍下这几款控制器主机，让大家有一个初步的了解！

第l：单路控制器主机，也就是常说的一拖一或者一拖二这样的主机，通俗说就是控制器可以连接一台探测器或者两台探测器，这样的控制器有什么优缺点呢？

优点：适合在场所比较狭小的空间，安装简单，采用4-20ma信号输出，带1台或者2台可燃有毒气体报警产品。

缺点：只能带2台探测器，多了没办法连接，不适合较大空间或者场所安装。

第二：多路控制器，4路和32路智能型控制器主机，也就是控制器带分线4-20ma信号和总线485信号，自由切换使用，根据现场情况使用一种或者两种同时使用。

优点：液晶显示屏，能适合较大场所使用，总共带36台，基本上满足所有场所使用，信号自由切换。

缺点：比如有些客户场所说安装4台探测器，但是控制器带总线，客户说不要，因为客户觉得价格相对来说高了点，其实综合考虑是非常-的，这也是智能型控制器的一个缺点。

虽然高纯氮气是非常常见的惰性气体，但是其应用却非常广泛，那么我们在作业的时候应该注意的安全事项有哪些呢？

1.严格执行操作规程，加位操能培训，避因作导致设损坏管道门泄漏而引发事故。

2.对岗位工人进行知识教育，使其了解、掌握汽车尾气标准气体厂家的理化性质、事故预防及应急措施。

3.生产实况制窒应急救预案，加强演练以提岗工人事故应急救援能力和救援水平，并根据工艺变化适时进行修订，使预案具有可操作性。

4.在可能发生氮气泄漏的危险场所悬挂警示标识，严禁无关人员进入该区域。

5.可能发生氮气泄漏的危险场所，加设强制通风装置。

标准气体的开发过程

标准气体的开发过程可分为四个部分：原料气的纯度分析；原料气的纯度分析。 通过称量法或分压法制备； 校准分析方法，例如气相色谱法和化学发光法； 性能检查和包装条件。

原料气的纯度分析原料气的纯度分析是一项基础研究工作，它直接影响称量方法的价值。 原料气体的分析应解决三个问题，即主体含量，稀释气体中要混合的组分的含量以及干扰要混合的组分的含量。 为了在氮气中制备1×106 mol / mol的标准气体，为了---1％的不确定性，要求高纯度氮气中的含量小于3×10 mol / mol。 这个要求很严格。 这必然导致对气体分析技术和净化技术的研究。 因此，在标准气体的制备过程中，对分析技术和纯化技术的要求---。