普发分子泵维修费用-「多图」

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双级旋片泵 duo 2.5/duo 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地

安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口阀如配置被设计为真空安全阀，该阀在操作过程中始终处于打开状 态。

工作室 (5) 位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶

片将工作室分为具有可变容积的两 个独立舱。当转子转动时，气体流入扩大的吸入

室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破 ---压力

而开启。出口阀是油封的。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行

润 滑，而且能够将叶片与壳体定子密封开来。

旋片式真空泵的工作原理

在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧 的密封吸入室。因此，

在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始

冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无

气镇操作所达到的压力。

工作液、油

泵油，也称为工作液，在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动

部件，填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工

作室之间的间 隙，此外还通过热传递---温度平衡。

多级泵

旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对---的---压力。

此外，气镇对---压力的影响较低， 因为气镇仅允许在高压力级使用。

真空安全阀

根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意

外停顿的情况下将泵与真空室隔离， 并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液

上升到真空室 中。在开启泵后，一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力，它

稍作---就打开。

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   除前级真空侧无油外，无磨损和免维护是另一个优势。在停电的情况下，通过泵的旋转能量为磁轴承供电。这使得停电?可以很容易地桥接数分钟。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐---冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速qi、可控热---装置、重粒子加速qi以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。如果停电持续时间较长，通过使?用集成的安全轴承，转子将以非常低的速度安全停止。在系?统故障期间，安全轴承关闭转子，以避免对泵造成任何损坏。

电动机/驱动器?

   能够提供旋转频率---?1,500?hz?(90,000?rpm)?的无刷直流电?动机用于驱动转子。这使得叶片速度是泵送气体所必需的。

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