江苏气体管道施工「多图」

管道系统的布置方式

各种管网都是由总管、干管和支管三部分组成。 总管是指从室外管网到实验室内的管道，干管是指从总管分送到各单元的管道，支管是指从干管连接到实验台的实验设备的管道，各种管道一般总是以水平和垂直两种方式布置。

管道系统设计的考虑因素

科学合理的管道系统设计，可以较低的成本实现---的功能与效果。通常考虑一下因素。

1.管道系统的布置方式

合理布置垂直输送、水平输送、排放管道和管井的位置，将楼层高降到底线，尽量减少输送和排放管道的交叉次数，降低建筑投资成本。

2.管道系统的维护问题

必须预留维修的空间，方便维修管道系统的控制阀门和断路器等关键部件。

3.管道系统未来的改变

必须预留空间和通道以允许对公用服务设施进行改变和增加，适应未来发展的需要。

4.管道系统的效率

尽量使各种管线短捷、经济合理，提升效率，降低运行费用与管道系统的投资费用。

5.建筑的形象设计

管道系统的设计直接影响建筑物的高度和体量，可采用实验室模块分散式管井，也可采用集中式大型竖井，必须结合建筑物的总体形象与实验楼的实际需要，曹勇美观的管道系统。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前---规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管ss304ba、ss316ba、不锈钢电抛光管ss316l-ep等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用ss316l-ep管。第二，气体管路工程中很重要的是钢瓶间和管路的设计安装及各个辅助元件的选择和安装。

注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的ss316l-ep管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。

对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间---真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。按法兰与管子的连接方式分为以下五种基本类型：螺纹法兰、平焊法兰、对焊法兰、承插焊法兰、松套法兰。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些？

1、用固体cacl2除水，水份可降低至0.1%体积以下；

2、用---洗涤除去高纯气体夹带的水份，为了除去高纯气体中的杂质水，资料表明工业上常用---洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下，水份可降至0.01%体积以下；

3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水，可降到600～1000ppm，夏季水份还要更多些；

4、jmt型干燥剂是一种含硅i铝比的丝光沸石型分子筛，具有---的热稳定性，除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外，在900℃前无明显的分解峰，说明其晶格具有优良的稳定性。

实验室气体管道工程系统 

目前主流气路编排主要是实验室集中供气系统。

实验室集中供气系统的特点：安全性、洁净度、稳定性、经济性、操作便捷性和美观性。

实验室集中供气系统主要由气源、切换装置、管道系统、调压装置、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易i燃易i爆气体，如氢气、乙i炔等，可能在设计和施工过程中稍有差异，必须加入阻火器防止火苗串入。

集中供气操作原理：实验室供气有二级减压和多级减压。

二级减压即气瓶端采用一级减压阀和末端采用一级减压阀来达到二级减压的目的。实验室一般采用二级减压，这样可以---气体的纯度和节约成本，也能达到多级减压的效果()。

多级减压即气瓶端采用二级减压阀或多级减压阀和末端采用二级减压阀或多级减压阀来达到多级减压的目的。减压效果同二级减压效果差不多，但成本会更高。

实验室集中供气包括：气体泄漏报警与低压报警。

气体泄漏报警：对于易i燃、易i爆、有毒、腐蚀性气体，在气瓶间与使用点处安装泄漏侦测探头，如果气瓶房气体发生泄漏的话，感应探头会即刻将信号传至中心实验室的液晶显示瓶上，并发出预警的声音，这样用户就可以发即时维修。

低压报警：当用户在实验室工作时，需要知道气体是否快要用尽，气瓶压力是否足够，这对实验室实现不间断气体供应是很重要的。