螺杆真空泵真空蒸发镀膜中常见的加热蒸发源

真空蒸发镀膜过程中需要在真空下加热蒸发膜材料。这个过程中加热是有多种方式的，今天螺杆真空泵厂家就和大家一起了解下这个。
真空蒸发镀膜设备中常用的加热方式主要包括以下几种：
螺杆真空泵-首先是电阻式加热。电阻式加热蒸发源实际上是一个电阻加热器，利用---体通电后产生焦耳热来获得高温，以此来熔融膜材料，使其蒸发。这种加热源结构简单，成本较低，具体还有丝状电阻源、舟状电阻源、坩埚加热器等形式。
第二种常见的是电子束加热蒸发源。电子束加热是通过电场加速电子，使其获得动能打到膜材上，使膜材料加热气化。这种加热方式比电阻式加热热效率更高，可以直接加热到材料表面，可以提高膜的纯度。其下具体的加热方式还有磁偏转式电子束加热、空心热阴极等离子电子束加热等。
第三种，感应式加热。感应式加热蒸发源是将装有膜材料的坩埚放在螺旋线圈的中央不接触，再在线圈中通高频电流，膜材料在高频电磁感应下产生涡流出现升温，直至蒸发。这种加热蒸发方式的特点是对膜材料的纯度要求相对较低，蒸发源温度稳定，蒸发速率大。
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