山西厚光刻胶厂家的行业须知 赛米莱德公司
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硅片制造中,光刻胶的目的主要有两个:1将掩模版图形转移到硅片表面顶层的光刻胶中;2在后续工艺中,保护下面的材料例如刻蚀或离子注入阻挡层。
分类
光刻胶的技术复杂,品种较多。根据其化学反应机理和显影原理,可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶;反之,对某些溶剂是不可溶的,经光照后变成可溶物质的即为正性胶。图1是正性胶的显影工艺与负性胶显影工艺对比结果示意图 [2] 。
1、光聚合型。
3、光交联型,
上述内容主要所描述的就是小编对于光刻胶是什么材料?光刻胶分类情况是怎样的具体介绍,不同情况下面,大家使用的一些材料上存在着很大的差距,所以在这以前,有些方面情况上到底是怎样,这些是都得根据细节状况来的,对于物品调查办理前的一定也是不可以盲目做下定论,否则也容易为自己以后操作出现影响。
注意事项:
若腐蚀液为碱性,则不宜用正性光刻胶;
看光刻机型式,若是投影方式,用常规负胶时氮气环境可能会有些问题
负性胶价格成本低,正性胶较贵;
工艺方面:负性胶能---地获得单根线,而正性胶可获得孤立的洞和槽;
健康方面:负性胶为有机溶液处理,不利于环境;正性胶属于水溶液,对健康、环境无害。
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