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   无尘室(clean room)，亦称为无尘室或清净室。风机滤网机组ffu：，采用离心风机，内部净化级别可达100-100k级。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予-设计之房间。

    洁净管道clean tube：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般量小，可忽略。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到-之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。-、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室clean spot：将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台：等级class 1~100级。

    工业无尘室用途——以无生命微粒的控制为对象。洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之hepa或ulpa及空调送风机组而成为一较高之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2。无尘室无尘厂房主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业半导体、集成电路等宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业光盘、胶片、磁带生产lcd液晶玻璃、电脑硬盘、电脑磁头生产等多种不同行业。

   洁净室无尘室)内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就工业洁净室而言，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：

   (1)室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大;

   (2)室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层;

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