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安徽多晶炉流量计原理-了解更多「厚礼博」

发布者:厚礼博精密仪器(北京)有限公司  时间:2021-10-23 
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流量控制器基本原理

通过测量气体流经流量器内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。气体通过的测量段内有两个热阻元件,其中一个作为温度检测,另一个作为加热器。温度传感元件用于检测气体温度,加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。流量控制器基本原理通过测量气体流经流量器内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。当气体流速增加,冷却效应越大,使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体流量,即供给电流与气体流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。

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流量控制器特点

1、 稳定的流量供给,不受温度、压力变化

2、 宽量程比,可达100:1

3、 ---0.1%的重复性和1.0级的精度等级

4、 多参数显示和输出:温度、压力、流量等

5、 内置70余种气体,触屏式直接操作切换,无需重新校准

6、 标配三种显示方式:数字、模拟和本地面板

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流量控制器

注意选择正确的工作压力指标

不同的产品工作压力指标可能不同,注意选择适合自己的产品。

流量控制器mfc除工作压力之外,还有另一项工作压力指标:工作压差,即mfc进气端和出气端之间的压差,选型时要注意,使用时也要注意。

 注意选择合适的精度指标

准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标,其中重复精度在很多应用场合尤为重要。指标不一定追求高,应考虑自己的实际需要。

如果对厂家给出的指标不放心,有条件的用户也可以自己标定一下。标定的方法参见下面的有关内容。



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