冈本晶圆研磨机GNX200B_OKAMOTO

冈本晶圆研磨机gnx200b_okamoto



冈本okamoto晶圆研磨机gnx200b特点：
·gnx200b拥有bg贴膜研磨---技术。
·一台设备同时实现bg贴膜平坦化及晶圆的减薄化
·无需修砂可持续进行平坦化加工。
·耗材损耗小，成本低廉。
·研磨废料精细减轻废水处理负担。
·提供晶圆研磨与晶圆贴膜自动化解决方案。



冈本okamoto晶圆研磨机gnx200b规格：
规格 gnx200b
max加工直径 ф200
轴承旋转数 0~3600min-1
轴承驱动电机 2.2/4 kw/p
轴承进给速率 1~999μm/min
主轴数 2
工作轴旋转数 1~300min-1
轴承尺寸外径 ф250
3900mm


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