净化工程是在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所---设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。---车间净化工程净化原---流***初效净化***空调***中效净化***风机送风***管道***净化风口***吹入房间***带走尘埃等颗粒***回风百叶窗***初效净化重复以上过程,即可达到净化目的。
净化车间的应布置合理、紧凑,避免人的混杂。不同空气洁净度房间之间的相互联系,要有防止污染措施,如气闸室、缓冲间或传递窗。净化工程内要求空气洁净度高的工序,应布置在上风侧,易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置;不同洁净级别的房间或区域,宜按空气洁净度的高低由里向外布置。空气洁净度高的房间或区域,宜布置在人员少到达的地方,并宜靠近空调机房;空气洁净度相同的房间或区域,宜相对集中。
在电子生产中,过高或者过低的温湿度都会对产品造成-影响。例如;湿度过大,会导---子元器件漏电、材料老化;湿度过低又会导致塑料、绝缘材料干燥收缩、变形甚至龟裂。温度过高会导致元器件膨胀,导致尺寸变化、位置偏移、机构变形,影响产品。
在微电子器件生产过程中,各种因素产生的静电电压,往往会超过电子器件对静电的灵敏度范围,导---子设备出现故障,损坏设备内部各元器件,引起设备误动。静电还会吸尘,容易积蓄灰尘,导致设备通风散热受到很大影响,导致机械零件出现---磨损,从而影响设备的使用寿命。
净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高1效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理,可采用亚高1效空气过滤器代高1效空气过滤器。净化工程的设计中的注意事项:选择满足净化车间特点的建筑构造和材料:净化工程在设计时,工程的墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,其特点为美观、刚性强。当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时zui好不采用。而采用喷干蒸汽和电热电极式加湿的方法。
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