减薄机厂家咨询,北京凯硕恒盛





1.本系列横向减薄研磨机为全自动精密磨削设备,由真空吸盘或者电磁吸盘吸附工件与磨轮作相反方向旋转运动,磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、工件不会破损,而且磨削均匀生产;
2.设备可自动对刀、实际检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损厚度尺寸。
高精密横向减薄设备特点:
1.可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内;
2.减薄,led蓝宝石衬底每分钟磨削速度较高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度较高可减薄250微米;
3.系列研磨机采用cnc程控系统,触摸屏操作面板。
1磨盘主轴系统
a 类型:滚子轴承
b 电机:ac 伺服电机(3.0kw)
c 砂轮规格:ф200mm
2) 工件盘主轴系统
a) 类型:滚子轴承
b) 电机:齿轮电机0.75kw
3) 进给系统
a) 类型:combination of ball serve&lm guide
b) 电机:微步进给电机
c) 控制:0.1μm control by linear scale feedback
4) 控制系统plc
a) 制造商:parker hannifin co.
b) 控制器:sx indexer/drive
c) 显示系统:eason 900
5) 辅助设备
a) 电源:220v,50hz,3相,5kw
b) 气压:5.5-6kgf/cm2 (0.55-0.6mpa)
c) 离心分离机:sludge free(sf100)(选配件)
d) 水箱容量:200l
e) 冷凝器:0.5kw
f) 过滤装置:20μm,10μm cartridge filter
6) 尺寸及重量
设备尺寸:1,100(w) x 950(d) x 1,976(h)
设备重量:1,400kg
1.构成
2工件盘主轴系统
3进给系统
4控制系统
5辅助设备
2。规格
1砂轮尺寸:o.d200mm×(x)7mm×(t)5mm
2加工尺寸:较大φ250mm
3速度和功率:
砂轮:3,000rpm(无级可调) 3.0kw ac伺服电机
工件:200rpm 无级可调 0.75kw 齿轮电机
4)分辨度:0.001mm
5)精度:±0.002mm
6)重复度:0.001mm
7)研磨范围:200mm
8)进给率:0.1μm-1000μm/sec
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