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蒸发镀膜

一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于：

1、基片材料与靶材的晶格匹配程度

2、基片表面温度

3、蒸发功率，速率

4. 真空度

5. 镀膜时间，厚度大小

组分均匀性：蒸发镀膜组分均匀性不是很容易-，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。

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真空镀膜技术的应用领域

1.在装饰品方面

随着经济的发展和生活水平的提高，人们喜欢将手表壳、表带、服饰、灯饰、眼镜架、室内外装饰件、五金箱包、手机壳、手机视屏、卫生洁具、食品包装等装饰品精饰得五彩缤纷。

2.在刀具、模具等金属切削加工工具方面

在生活中，我们会看到金黄色的、钴铜色的、黑色的等七杂八色的钻头、铣刀、模具等，这些就是经过镀膜技术加工后的涂层工具。

1金黄色的，是在刀具上涂镀了tin、zrn涂层，tin是代应用广泛的硬质层材料。

2黑色的，是在切削工具上涂了tic、crn涂层。

3钴铜色的，是在刀具上镀涂了tialn涂层。

3.在建筑玻璃和汽车玻璃上

建筑玻璃有透光和隔热两个基本功能。

普通玻璃能透过绝大部分太阳光辐射能量，这对采光和吸收太阳光线的能量十分有利。而对于空间红外辐射，普通玻璃虽能阻止室内的热量直接透过室外，但热量被玻璃吸收后的二次散热也会造成很大的损失。

随着经济的发展，普通玻璃已越来越不能满足人们的要求，而阳光控制膜和低辐射膜正好能弥补了普通玻璃在这一方面的不足。阳光控制膜可以满足低纬度地区降低室内温度的要求；而低辐射膜则能满足高纬度地区充分接受太阳辐射能量和1大限度阻止室内热量外流的要求。此外，其中，大多数利用的是半导体的表面、界面的性质，需要尽量增大其面积，且能工业化、格制作，因此，采用薄膜的情况很多。

在玻璃上，镀涂一层tio2就能使其变成防雾、防露和自清洁玻璃，这种工艺在汽车玻璃上有-的应用。

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现代真空镀膜机膜厚测量及监控方法

涂层的镀膜机控制方法是直接的石英晶体微天平(qcm)的方法，该仪器可以直接驱动的蒸发源，通过pid控制回路传动挡板，使蒸发率。只要仪器和系统控制软件的连接，它可以控制涂层的全过程。有的真空泵出口压强低于-压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。但(qcm)的准确性是有限的，镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层。

此外，虽然qcm在低温下非常稳定，但温度高，它将成为对温度很敏感。在长时间的加热过程中，镀膜机很难避免传感器为敏感的区域，导致薄膜的重大错误。 光学监测是一种涂层优选的监控模式，镀膜机这是因为它能准确控制膜的厚度(如果使用得当)。

精度的提高，由于许多因素，但-的原因是光学厚度的监测。optimalswa-i-05单-长的光学监测系统，是间接控制，镀膜机-的光学监测软件结合王博士的发展，有效地-和灵敏度变化的光反应的膜厚度的减少终的误差的理论方法，提供监测波长的反馈或传输模式的选择和广泛的。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。-适用于涂布各种薄膜厚度监控包括不规则的膜。

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