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洁净室中的气流速度规定

这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。

对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，所以主要用换气次数这一概念，而不直接用速度的概念，不过对室内气流速度也有如下要求；

(1)送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角度。

(2)吹过水平面的气流速度例如侧送时回流速度不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，而造成再污染，这一速度一般不宜大干0.2m/s。

洁净车间净化工程中送风量要比普通车间大很多，

一般情况下，普通车间8-10次/h换气，单向流洁净车间400-600次/h换气；洁净车间内必须时刻保持正压状态，防止外界污染物进入洁净区，而普通车间并不注重这些。 隔热保温，保湿性能好，普通车间只要能符合产品生产加工的要求就可以，在结构设计上没有---严格的要求。板材用料方面，也没有洁净车间的严谨。洁净车间搭建的用料十分讲究，既要有---的隔热保温功能，也可以保持湿度。

洁净室检测之静电检测与验收

测试目的  

静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可仿1真物体在该气流场中之残余表面电压。  

洁净室检测之静电检测与验收

防静电工程中门窗及其它装修工程验收除应符合有关标准和相关行业标准规定外，尚应符合下列规定：

a.门窗密封性能和接地连接应全数检查。

b.门窗和各类装修的饰面应抽检测定表面电阻值。抽检数量应不小于三个自然间，每自然间内所有门窗和各类装修饰面全数检查。

c.易1燃、易1爆和洁净环境的门窗及其它装修工程，除应符合本规程的规定外，其施工和验收还应符合特种行业的---和规范规定。