金属化学气相沉积- 东莞拉奇纳米

---实践证明，大功率电子枪是钢带连续真空镀膜工艺的理想热源。这是因为

1电子枪发射的电子束经---后可达到---的能量密度，轰击坩埚镀膜材料，可使其温度达到3000℃以上，远比电弧温度高。

2电子束能量转化率---80%-90%，采用磁偏转系统可以方便地进行电子束---和扫描，加热均匀。

3电子束只轰击镀膜材料表面，不会由于其它材料的掺入而引起夹杂问题。

4电子枪蒸发镀膜机使用时的束斑直径、电功率、加束电压、扫描轨迹、频率等参数都容易实现调节。

5使用电子枪还可以在钢带镀膜生产过程中对被镀钢带进行真空预热，就是使用电子枪清洁钢带，轰击表面使其活化。通过电子束---的扫描，钢带表面温度控制在200~550℃，这种预热是钢带镀膜和提高镀膜附着力所必须的。

真空镀中对底涂层的要求：

对镀件与镀膜层有---的接触性能与较高的结合力，热膨胀系数相差小，不起反应，流平性能好。

具有---的真空性能。底涂层固化后放气量少、热应力小、耐热性能好。

成膜性能好，涂层的致密度、覆盖能力、抗溶剂能力与耐光照能力等性能---。

与面涂层有---的相溶性。由于镀膜层极薄有孔隙，要求底涂层和面涂层的溶剂和稀释剂有---的相溶性。

施涂性能---。流平性能---，有适当的黏度、固化时间短。

金属化学气相沉积加工过程中的常见故障排除

金属化学气相沉积加工工艺流程比较长、工序繁多，发生故障的影响因素会很多。如金属化学气相沉积前处理不净、清洗---、电解液成分失调及杂质污染、生产环境---等。pvd镀膜而故障的原因往往存在于以上各影响因素的一两个细节之中。

金属化学气相沉积加工在影响产品的五大因素〔操作者、设备、材料、工艺方法及生产环境)中，人是位的。金属化学气相沉积故障的发生都与操作工技能和工作责任心有关。金属化学气相沉积生产管理人员对操作工指导和---不力，这些在pvd镀膜企业较普遍存在的状况,金属化学气相沉积使得故障在所难免。?传感器和换能器：自动化控制和---环境下使用的传感器、换能器，parylene涂层防护可以提高环境适应性和---性，涂层无，且具有防潮功能。要减少金属化学气相沉积生产故障，提高金属化学气相沉积从业人员的技能和工作责任心是十分重要的。

真空镀膜技术一般分为两大类，即物---相沉积pvd技术和化学气相沉积cvd技术。物---相沉积技术是指在真空条件下，利用各种物理方法，将镀料气化成原子、分子或使其离化为离子，直接沉积到基体表面上的方法。制备硬质反应膜大多以物---相沉积方法制得，它利用某种物理过程，如物质的热蒸发，或受到离子轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移过程。物---相沉积技术是指在真空条件下，利用各种物理方法，将镀料气化成原子、分子或使其离化为离子，直接沉积到基体表面上的方法。