高纯气体如何安全供气？
此类气体只要形成了可燃气体混合气和达到着火温度，便会发生燃烧事故，因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能-可燃气体的场均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下：可燃气体比空气轻者，报警装置设置在所处场所的顶部。可燃气体比空气重者，报警装置设置在所处场所的低处。可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁，当空气中的可燃气体浓度达到规定值时，事故排风装置自动开启，同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。但此法的缺点是为达到均匀状态所需要的时间较长，而且因气体的种类、浓度不同而所需要的时间不同。
半导体气体很多是对人体有害。-是其中有些气体如sih4的自燃性，只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应，开始燃烧；它是一种五色无味的气体，在空气的含量为0．935％(按体积计算)，氩的沸点为－186℃，介于氧和-的沸点之间。还有ash3的毒性，任何些微的泄漏都可能造-员生命的危害，也就是因为这些显而易见的危险，所以对于系统设计安全性的要求就-高。气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色，-是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业，凡举传统的ulsi、tft-lcd到现在的微机电(mems)产业，皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体，而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响，气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。
在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量的要求也越来越高。线宽下对超纯氮气的要求，高纯氮气pn2：系统管道采用内壁电解抛光ep低碳316l不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。n2：系统管道采用内壁电解抛光ep低碳316l不锈钢管或光亮退火ba低碳316l不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。中国气体圈子俱乐部是中国-体产业的倡导者，免费普及气体知识，及时传递行业，优化气体供应方案，整合气体市场资源。
气的特点
常用的惰性气体是气。它是一种五色无味的气体，在空气的含量为0．935％(按体积计算)，的沸点为－186℃，介于氧和-的沸点之间。是氧气厂分馏液态空气制取氧气时的副产品。 我国均采用瓶装气用于焊接，在室温时，其充装压力为15mpa。钢瓶涂灰色漆，并标有“气”字样。纯的化学成分要求为：ar***99．99％；he≤0．01％；o2≤0．0015％；高纯气配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分，包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。h2≤0．0005％；总碳量≤0．001％；水分≤30mg／m3。
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