特气管道系统 spe---l gas pipeline system 是指sih4,nf3,cl2 等一些具有高危险性,应---安全性的特气。公司提供从供气系统;排气处理、监视系统的综合管理系统;2、所有的管路、阀门,压力表都由高的不锈钢构成,并且都是标准配件。建立以安全为第i一的特气管理输送系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。
特种气体是光电子、微电子等领域,---是---规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的、集成度、特定技术指标和成品率,并从---上制约着电路和器件的精i确性和准确性。铜管只使用在气体管路的末端和气体纯度不是要求太严格的地方比如通风柜。
工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医i药、各类实验室、研究所、标准检测等---行业;为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案;逐步成为行业领i先的整体系统供应商。
各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(pn2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(n2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(ph2)氢气(h2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
---气(he):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:---的还需做双套管:外管酸洗钝化(ap)处理,内管电解抛光(ep),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性---提高。气体经鼓风机、压缩机、泵和锅炉等增压后,从管道的高压处流向低压处,也可利用气体自身的压力或重力输送。
高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些?
1、用固体cacl2除水,水份可降低至0.1%体积以下;
2、用---洗涤除去高纯气体夹带的水份,为了除去高纯气体中的杂质水,资料表明工业上常用---洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下,水份可降至0.01%体积以下;
3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水,可降到600~1000ppm,夏季水份还要更多些;
4、jmt型干燥剂是一种含硅i铝比的丝光沸石型分子筛,具有---的热稳定性,除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外,在900℃前无明显的分解峰,说明其晶格具有优良的稳定性。
工业气体管道压力试验方法
气体管道压力试验方法
管道系统安装完毕后,为了检查管道系统的强度和严密性及---安装,
应对管道系统进行压力试验。
试压的一般规定
1管道试压前应全i面检查、核对已安装的管子、管件、阀门、紧固件以及支架等,应符合设计要求及技术规范的规定。
2管道试压应编制试验方案,根据工作压力分系统进行试压。一般对于同向---的无压管线,如放空管、排液管等可不进行试压。
3试压前将不能与管道一起试压的设备及压力系统不同的管道系统用盲板隔离,应将不宜与管道系统一起试压的管道附件拆除。临时装上短管4管道上所有开口应封闭,系统内的阀门应开启。
5试压时,应用精度等级1.5级以上的压力标2只,表的量程应为测压力的1.5~2倍,一只装在试压泵出口,另一只装在本系统压力
波动较小的其他位置。
6试压时应将压力缓慢升至试验压力,并注意观察管道各部分情况,如发现问题,应卸压后进行修理,禁止带压修理。缺陷消除后重新试压。
7当进行压力试验时,应划定禁区,无关人员不能进入,防止-。
8对于剧i毒管道及设计压力p***10mpa管道,压力试验前应按规范要求将各项资料经设计单位复查,确认无误。
9试压方案已经过批准,且进行了技术交底。
10管道系统试验合格后,应及时填写“管道系统压力试验记录”,有关人员签字确认。
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