配管的准备工作
(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管,下料时均不得采用氧、乙i炔焰切割。无论是机械或手工下料,分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。
(2)管子切口应当与管轴线严格垂直,切口表面平整,不得有裂纹、毛刺。
(3)各种阀门应在安装前清洗,清洗前先应研磨、试压合格,然后拆成零部件,并在ccl4溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。
(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门,应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂,并使溶剂流经阀门各处,阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。
(5)采用普通不锈钢管时,其表面若粘附有油污,安装后清洗十分困难,应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作,必须---清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。
(6)氧气管路的阀门、附件等,应当严格禁油,并在安装前按有关要求严格脱脂。
3.金属管道的连接
(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:
1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。
2)铜管。在半导体企业中,个别生产工艺如gaas的操作,为了防止产生器件电阻,不允许使用铜制管路及其附件,只能使用不锈钢材料。
连接方式:
1)焊接。高纯、高洁净气体管道,原则上采用焊接,但不能直接对焊,应采用套管接头。
a不锈钢管的焊接:采用argon arc welding,同时管内通入同等纯度的ar,防止焊接部位氧化。
b钢管的焊接:采用40%银焊条,氮气保护焊,管内通入工艺气体同等纯度的氮气。但要注意,一旦氮气中断或氮气纯度下降,会在焊口附近生成铜的氧化物,产生浸润表面的可能性。7气瓶在储存、使用时必须直立放置,工作地点不固定且移动频繁时,应固定在---手推车上,防止倾倒,严禁卧放使用。所以,当铜管焊接完毕后,要用浸渍丙i酮的纱布来回擦拭管内,消除焊接处可能产生的氧化物。
2)螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接的好,不适用于高纯、高洁净气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险,而且内外螺纹旋紧时,金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子,污染气体。实验室气体管道安装【实验室气体管路要求】1、所有气体管路都由高的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。如确实---,应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时,在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊条,提高密封效果,尽可能减少金属粉尘。
3)法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氯i乙烯,为---密封效果,在垫片上涂敷少量氟橡胶(白色、室温固化)。
(3)管路附件的使用:
1)管路附件的材质的选用原则应与管材的选用原则一致。
2)在采用铜材的管路系统中,可以使用不锈钢材质的管道附件;但在不锈钢材质的管路系统中,不容使用铜制材料的管道附件。
气路系统百科知识
气路系统主要由气源切换系统、管道系统、调压系统、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易i燃易i爆气体,如氢气、乙i炔等,可能在设计和施工过程中稍有差异,必须加入气体回火防止器等安全控制装置。
概述;
在现代化的实验室中,为了完成实验,需要用到多种分析仪器,如气相色谱仪,原子吸收,气—质联用仪,icp等等,其中这些仪器需要用到高纯气体,传统的做法是采用独立钢瓶分散供气的模式,这种供气模式每台仪器设备单独配置气体钢瓶,分别满足每台仪器设备的使用,但随着近年来实验室投资的不断加大,仪器设备的迅速增加,用气量也逐年增加,传统的供气模式已经难以满足仪器设备增加的需求,同时分散供气模式带来的实验室布局混乱,钢瓶的频繁更换也对实验室的管理和维护造成了困难,为了解决以上两个方面的问题,就需要一套安全性高且能实现集中分配供气的系统完成从气源向仪器的供气,这就是实验室高纯气体管道系统的功能所在。不仅是给试验操作人员一个---的工作环境,是对试验人员的人身安全的一个保障。
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