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我们所说的超随密加工技术,除了超精密研磨技术外,还括超精密磨削,微细加工,光整加工和精整加工等,这几种超精密加工方法能加工出精密加工所无法达到的尺寸精度,形状精度及表糙度。但是,超精密切削,超精密磨削等的实现在很大程度上依于加工设备加工工具,同时还受加工原理及环境因素的响和-,所以,现在如果想从这些方面高加工精度,那是十分困难的,而超精密研技术由于具有加工原理,可以实现纳米甚至原子级的加工,已成为超精密加工技术中的一个重要部分,所以,超密研磨技术如今-，研磨是历史您久的传统工艺,古代石器,玉器及铜镜就是经过研磨制造出来的,至今研磨一直是精密的加工,多年来其发展是微慢的,到上纪五十年代,飞速发展的电子工业为古老的研磨技术带来了新的曙光，超精密研磨技术,一般指选用粒径只有几纳米的研磨微粉作为研磨磨料,将其注入研具,用以去除微量的工件材料,以达到一定的几何精度，一般误差在0.1μm以下及表面粗糙度(一般ra≤0.01μm)的方法。其技术目标主要有两类,一是为追求降低表面糙度或提高尺寸精度为目标,二是为实现功能材料元件的功能为目标,要求解决与-相匹配的表面粗糙度和的变质层问题,另外,对于单材的加工,同时还要求平面度厚度和品相的定向精度等,对于电子材料的加工,除了要求高形状精度外,还必须达到物理或结晶学的无损伤理想镜面。