宣城蓝宝石抛光垫供应商服务「新-光电」

3 ,粉体悬浮性。具有悬浮性的粉体是使用抛光粉的重要体现，一般好的粉要 求选择有较好的悬浮性,因为粉体的悬浮性直接影响到了粉体的

粒度以及粉体的形状;

4 ,粉体硬度。具有硬度较高的粉体就具有较快的切削效果,或者可能添加一些助磨液剂量也能帮助提高粉体的硬度 ;

5 ,粉体的粒度大小。适当控制好粉体的粒度大小,是决定抛-度以及精度的重要条件。均匀的粒度决定了抛光粉的整体表面水平以及抛光

效果。

抛光皮的加工原理

１．聚胺脂抛光片肖式硬度的不同  

根据镜片的磨耗度的不同选择相对应的肖式硬度的聚胺脂抛光片，肖式硬度数值越大越硬。

２．聚胺脂抛光片填充物不同   聚胺脂抛光片里的填充物氧化、氧化---的添加是微量加入，填充物的种类不决定所用的抛光粉，例如：氧化可以与含有氧化---填充剂的抛光片配合使用或者是相反。  含有氧化的抛光片——主要表现为提高抛-率。 含有氧化---的抛光片——主要表现为提高光洁度。  不含有填充剂的抛光片——主要表现为抛光过程中的光圈稳定。

在晶圆(芯片)制造过程中(见图1)多次使用cmp工艺。

化学机械抛光过程(见图2)使用安装在刚性抛光平盘上的柔性抛光垫，硅片被压在抛光垫上，在抛光液的作用下进行抛光，抛光液含有化学液(即h2o2)和纳米磨料。硬的硅基陶瓷材料由磨料的机械作用抛光，而金属则由金属和抛光液内的化学物质之间的化学反应进行抛光，即采用化学与机械方法综合作用去除多余材料而得到平坦化的高表面。