手术室净化车间公司常用指南「乾禹建设」
洁净室具有风量大,空调系统风压高,运行时间长等特点,故其能耗比一般建筑为大。因此,在设计中应考虑节能措施。一、能耗特点国外对普通办公楼与一般洁净厂房的风量作比较,其大致数值见表27.10-1。普通民用空调如办公楼、旅馆单位建筑面积的冷负荷在100~130w,而半导体厂房的冷负荷可能-500~1000w/㎡。从符合因数来看:微电子生产车间的空调能耗中工艺而设备负荷、输送负荷以及新风负荷主体,一般均占90%以上,图27.10-1为某芯片φ300mm生产厂房冷负荷的成分组成。表27.10-2还给出了不同级别洁净室的负荷组成供参考。另一个特点是:从全年来看所有季节均存在冷却负荷,即其供冷季节长,这也是从整体上讲其能耗大的原因。
洁净室设计的洁净室建筑平面布置要注意平面形状的简洁,功能分区明确,管线隐蔽空间的合理分布,生产工艺和设备更新的灵活性以及防火疏散的安全性等向题。洁净厂房建筑平面组合形式常采用贴邻、块状、围合等组合方式。根据不同的跨度、高度和柱网来组织空间。在具体平面布置时要考虑下列情况。一、洁净室与一般生产室分区集中布置对于洁净厂房来说,有空气洁净度要求的生产房间往往仅为部分工序或者部分部件的生产区,即使是全部产品生产区要求具有不同等级的洁净室(区),但洁净厂房内还有生产辅助用房、公用动力和净化空调机房等为一般环境,所以洁净厂房内部往往兼有洁净生产环境和一般生产环境。
还有三个要素:气流速度、气流的不均匀度、气流的平行度。而且对三要素均有严格的要求。 1、气流速度 气流速度的选择原则应该使整个气流均匀流动不发生滞留区。气流速度应能抵抗人员活动、热浮升的干扰
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