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抛光液中常常添加一些化学试剂用于调节抛光液的ph值,以---抛光过程化学反应的进行,化学机械抛光抛光液一般分 为酸性和碱性两大类。

酸性抛光液早是由化学腐蚀液改进而来的,具有溶解性强、氧化剂选择范围大抛光等优点,常用于金属材料的抛光。酸性抛光液的ph值-般

为4左右,可通过加入有机酸作为ph调节剂。其缺点是腐蚀性强,对抛光设备要求高, 选择性较低,但是可加入抗蚀剂---并来提高其选择性,不过

bta的引入会影响抛光液的稳定性。

聚胺脂抛光片打孔的优点  为了增加抛光液的流动性、提高抛-率，采用打孔类型的聚胺脂抛光片，一般孔的大小为2mm左右，根据镜片口径的大小、设备的转速、r值的不同，孔的排列形式分为90度、60度、45度，更适用于球面加工。

聚胺脂抛光片带背胶的优点  聚胺脂的粘结要选用流动性比较好的胶，有冷胶和热胶两种，如果胶层不均匀带来抛光片的不平整，而造成抛光的光圈不稳，所以采用带背胶的抛光片能达到胶层均匀，一般带背胶的聚胺脂抛光片多用平面加工。

抛光垫表面沟槽形式(平行与垂直交叉型或同心环形)、沟槽形状(v型、u型或楔型)、沟槽方向以及沟槽尺寸(---、宽度和间距)等对磨料的分布和流动、抛光垫的寿命有着---的影响。采用表面开有图1所示不同---槽的两种阻尼布抛光垫的抛光实验

福吉结果表明：当整个抛光垫表面的槽足够深时，槽的---对抛光过程没有影响，但抛光垫表面任何位置的槽磨损会影响到抛光过程甚至致使工件表面(工件表面不均匀性)恶化。