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-质谱检漏仪的应用拓展

-质谱检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业，甚至乡镇企业、个体企业，可以说应用领域极其宽广。

航空航天-工业

1例如火箭发动机及姿态发动机，过去是-刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用-质谱检漏仪检漏，采用正压吸枪与-罩法结合，使检漏灵敏度大大提高，从而-了发动机。86×10-5pa·s，1l液-气化为标准状态下的-气体积为700l。火箭箭体的检漏采用正压吸枪、-罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用，提高了检漏灵敏度，弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足。

2km6空间环模装置设备庞大，主真空室直径12m、高22m，另外有辅助真空室和载人舱等。2ppm，在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。容积3500m3，分系统多，结构复杂，各种接口焊缝相加有几千米长，采用-质谱检漏仪负压检漏，每条焊缝由检漏盒密封，配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后，充入一定压力-气，关闭预抽阀，开启检漏阀。由于盒内-浓度较高，相对检漏仪又有一定压力，因此有效提高了检漏灵敏度。

3航天工业中，卫1星、各类阀门、电子元器件，传感器等等都在广泛应用-质谱检漏仪及其检漏技术。

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检漏仪使用中注意事项

检漏仪在使用过程中需-注意以下几点：

使用的电源电压要在额定的电压范围之内，电压过低仪器启动困难，且性能不稳定，电压过高会烧坏电源，-时还会烧毁母板的电路板和分子泵，应连接稳压电源(ups)。

仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。

检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养，保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。

本文介绍了5 种检漏仪常见故障的分析与处理方法，其中仪器内部存在泄漏环节是一个易被忽视却又易产生故障的环节，当检漏部位的复检结果不一致时，就需检测仪器内部是否有漏。检漏仪内部结构紧凑，定位难度大，本文采用切断分子泵风扇电源和使用小流量喷枪的方式，提高了密封部位定位的能力。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。检漏仪是检漏工作的-部件，在使用过程中应严格按照说明书的操作要求进行使用。文中以上出现的故障、现象的处理方式是本单位在多年使用过程中的一个总结和归纳。对检漏-具有一定的参考价值。

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