电力柱上开关真空箱-检漏系统-「科仪-真空」

-质谱检漏仪的基本原理与结构

随着科技的迅猛发展，-质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的-质谱检涮仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观较新-质谱检漏仪的性能特点发现，-质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等-方向发展，这些特点-地满足了当前检漏应用的需求，也-的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。2-质谱检漏方法分析-质谱检漏是以-作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。-质谱检漏仪的基本原理与结构-质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束，以一定能量注入质分析器，

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

离子检测器的作用是手机分析器所选定的-离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和-气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，-气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。常规系统多用于早期的-质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，-气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主流的产品。

机械泵的工作方式不一样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。