真空的定义真空系统指低于该地区-压的稀簿气体状态真空度处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。真空度单位通常用托torr为单位,国际上取用帕pa作为单位。1托=1/760-压=1毫米柱托与帕的转换1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托平均自由程作无规则热运动的气体粒子,相继两次碰撞所飞越的平均距离,用符号“λ”表示。
干泵;国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。-压力从10pa~10-2pa,抽速从20m3/h~500m3/h。
水环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点结构简单,制造精度要求不高,容易加工。结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。压缩气体基本上是等温的,即压缩气体过程温度变化很小。由于泵腔内没有金属磨擦表面,无须对泵内进行润滑,而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。吸气均匀,工作平稳-,操作简单,维修方便。
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