真空箱检漏设备-「多图」

-质谱检漏仪常用检漏方法及标准

-质谱检漏法是利用-质谱检漏仪的-分压力测量原理，实现被检件的-泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体-气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入-质谱检漏仪后，由于-质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的-气分压力信号值。正压法的缺点是检测灵敏度较低，检测结果不确定度大，受测量环境条件影响大。在获得-气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对-泄漏量。

根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将-质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种-质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。

真空法-质谱检漏

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用-罩或喷吹的方法在被检产品外表面施-气，当被检产品表面有漏孔时，-气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入-质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空-罩法。耐压要求：对产品加压到实验压力，保压一段时间，降到常压，经检查无泄漏和异常变形。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹-气，可以实现漏孔的准确定位; 真空-罩法采用有一定密闭功能的-罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的-气，可以实现被检产品总漏率的测量。