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流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要---注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的mfc; 二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在mfc气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在mfc下游加背压阀, 稳定反应室和mfc出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要---mfc的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, mfc就能够在高压条件下稳定工作。五、设备的应用成功与否跟安装是有直接关系的,,需要整齐的安装外,还需要减少振动的影响。
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流量控制器,即massflowcontroller(mfc),不但具有流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,mfc自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。流量控制器mass flow controller缩写为mfc用于对于气体或者液体的流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,cvd,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。如果不特殊声明,mfc都采用氟橡胶密封,可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体,例如可以用于卤族干燥气体。特点:精度高,重复性好。
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流量控制器是利用热传导原理测量流体流量的仪表,流量控制器采用恒温差法
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