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EDWARDS真空分子泵选型-了解更多「潽拓光电」

发布者:广州潽拓光电科技有限公司  时间:2021-11-13 











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气体输送能力强

  大多数涡轮分子泵对于输送轻气体如氢、-的能力很强。单轴、直接驱动-这一简单-的设计符合长期使用、低维护成本,低操作成本的工作原理。因而它非常适于真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,-质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。





分子泵清洗的方法如下:

1.关掉分子泵,进行排气。

2.从机器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的边缘部分。

3.拆掉冷却器、加热器如果有的话等

4.拆掉润滑的油包

5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。








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分析仪器 - lcms、汽车、射束线和高能物理、速离心机、覆层、低温学、脱气/- - 油,环、氧树脂、蒸馏/萃取/过滤、冷冻干燥、熔炉、气瓶充气/排空、凝胶体干燥、手套式操作箱,干燥炉、实验室工作台上真空、激光、-检漏仪、负载锁和传输腔、冷冻制造、旋转离心蒸发器、溶剂回收、表面科学仪器、涡轮分子前级泵等。装电源时,按电机标牌的规定接线,应注意电机旋转方向与支座上箭头方向一致6。








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