两酸抛光配方的行业须知 昆山韩铝化学2

抛光就是对工件表面进行加工，使其高度光洁。一般用附有细磨粉的软质轮子高速旋转来擦拭工作。此外还有液体抛光、电解抛光等方法。简单说抛光剂就是使物件表面光亮的试剂。抛光后的产品亮度均匀一致，且本药剂的处理温度为中温，无需加过高的温度。抛光剂俗称：光亮剂：淡黄色或黄色透明液体制剂。根据市场需求不断演化出针对不同材质的制剂大至有不锈钢抛光剂、镁合金抛光剂、铜抛光剂、铝合金抛光剂、玻璃抛光粉、钻研抛光粉等。 [1] 用 途：适合各种不锈钢或金属制品抛光。性 状：液体产品。工艺条件：抛光机配套使用腐 蚀 性：对不锈钢无腐蚀，保持金属表面光亮度，不变色，刺。毒 性：-，不污染环境。配 比：1:5~10(以能润湿工件为准)温 度：常温使用

含量控制.采用磷酸基化学抛光槽液时,含量应控制在规定的范围内,通常按照化学分析结果调整,-要掌握添加的规律,并安全操作.有经验的化学抛光操作人员,可以从化学抛光表面光亮度判明含量,通常,的消耗量为化学抛光槽液消耗量的1%~2%体积分数.若不及时补加,铝合金型材表面会出现光亮度不足等现象.如果含量太低,可以看到化学抛光后的铝合金型材光亮度不满意或看到细小的白色附着物斑点等缺陷.若含量太高,可能出现浅蓝色至橙色彩虹膜.

铝合金产品传统的三酸抛光的化学工艺配方为：磷酸80%，-10%，10%。目前磷酸的价格为5400元/吨，-700元/吨，2300元/吨以上价格仅作为参考。那么我们传统的配方成本为：磷酸800ml*1.70*5.40=7.344元，-100ml*1.84*0.7=0.13元，100ml*1.40*2.30=0.32元，那么一升抛光液合计的成本为7.8元。目前我公司研制成功的oy系列铝处理化学抛光工艺，磷酸为500ml/l,-500ml/l,光亮剂20ml/l, 成本核算为：500ml*1.70*5.40=4.59元；-500*1.84*0.7=0.644;光亮剂计0.65元，合计5.85元。因此，我公司oy系列铝处理工艺，成本足足下降了20%。而且oy系列产品在处理铝的时候,无任何黄烟，大大的-了生产环境；处理成品率可以在到98%以上，几乎无因为抛光而造成的报废品；光亮度好，与三酸处理无异；维护管理容易，溶液性能稳定。因此，我公司极力使用本产品。

半导体行业cmp技术还广泛的应用于集成电路(ic)和-规模集成电路中(ulsi)对基体材料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速发展，对抛光技术提出了新的要求，传统的抛光技术如：基于淀积技术的选择淀积、溅射等虽然也可以提供“光滑”的表面，但却都是局部平面化技术，不能做到全局平面化，而化学机械抛光技术解决了这个问题，它是可以在整个硅圆晶片上平坦化的工艺技术。