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真空腔体焊接制造工艺中需要掌握的技术要求

焊缝是真空制造工艺中容易产生漏孔的区域之一，常见的焊缝外观缺陷及其它缺陷，如未熔合、未焊透、夹渣、气孔、裂纹及内应力都是真空系统中的漏孔或者虚漏源的---。为了大程度地减少焊缝缺陷，便于检测，真空要求焊接的零部件使焊缝尽量处在真空侧，---侧焊缝仅作为间断加强焊缝，同时使大数量的焊缝能在制造阶段分别测试，在终装配前给予矫正。由于一些零部件的截面尺寸小，内壁施焊受到---，某些部位只能采用---侧焊缝，焊缝应一次焊好，以避免两次焊接时造成有害空间，那么真空腔体必须---单面焊双面成型的效果优良。

另外还应该-，由于压差、振动和热循环等原因在接头内产生的应力和应变，可能会使含有缺陷的焊缝产生裂纹从而使焊缝受损，或者在使用过程中焊缝受腐蚀，这样就可能形成漏点。

因而所采用的焊接方法必须在这些条件下能使焊缝的漏率满足技术要求。

真空腔体的优势及特性

——按照客户要求，加工订制；

——出图设计；

——可配套固定真空机组系统；

——耐高温、耐腐蚀；

——高、---；

加工工艺，完全采用真空焊接技术拼装焊接；

---的真空捡漏设备，---产品的---性；

真空主要应用在离子镀膜、高真空半导体设备、实验室设备等对环境要求---的真空领域。

真空腔体概述

真空设备包含很多组件，如真空腔体，真空密封传导件，视口设置，真空传感器，真空显示表，沉积系统，蒸发源和蒸发材料，溅镀靶材，等离子刻蚀设备，离子注入设备，真空炉，真空泵，法兰，阀门和管件等。真空设备常用于脱气，焊接，制备薄膜涂层，生产半导体/晶圆、光学器件以及特殊材料等。

基板指的是一个大的法兰适配器，可以把一个位置低的腔体或者钟形罩连接到真空泵。基板通常有一个位于中心位置的端口或者法兰连接装置，可连接到真空抽气系统。

脱气箱或者脱气室通常是腔体结构，一般带有铰链接口，可连接不需要高真空环境的其他装置，如塑料样品、---、粘合剂、化学制品或其他液体的除气设备。

辅助井用于连接抽气系统和钟形罩。

基地井整合了基板和真空密封颈，用焊接接头取代一个真空密封件，可以同时实现基板和密封设备两个部件的功能。