真空腔体定制报价- 沈阳鹏程公司

真空腔体——焊接工艺介绍

目前，真空容器普遍采用不锈钢。真空腔体应该讲，不锈钢的可焊性和焊接工艺性是-的，为什么要提出真空容器对焊缝的要求呢?其原因是真空容器要求泄漏率很低，也带来对焊缝密封性的苛刻要求，微小的泄漏难检、难补、难消除。实践证明，非真空容器通常采用压力检漏法不能满足真空容器漏率的要求，亦即在压力检漏检不出漏点的情况下，采用-质谱检漏，仍可能发现漏孔，达不到漏率要求。因此对真空容器来讲，须采用高灵敏度的-质谱进行检漏。

为-焊缝满足真空容器漏率的要求，针对不锈钢，焊接工艺上主要应解决两个问题，

一是防止热裂纹的产生，其产生机理是在焊缝一次结晶中，低熔点共晶物聚积在焊缝中心线处，在热应力的作用下形成。同时真空腔体应防止碳化物形成，造成脆硬组织裂纹。

二是尽可能减少焊接缺陷的产生。

真空腔体的优势及特性

——按照客户要求，加工订制；

——出图设计；

——可配套固定真空机组系统；

——耐高温、耐腐蚀；

——高、-；

加工工艺，完全采用真空焊接技术拼装焊接；

-的真空捡漏设备，-产品的-性；

真空主要应用在离子镀膜、高真空半导体设备、实验室设备等对环境要求-的真空领域。

真空腔体概述

真空设备包含很多组件，如真空腔体，真空密封传导件，视口设置，真空传感器，真空显示表，沉积系统，蒸发源和蒸发材料，溅镀靶材，等离子刻蚀设备，离子注入设备，真空炉，真空泵，法兰，阀门和管件等。真空设备常用于脱气，焊接，制备薄膜涂层，生产半导体/晶圆、光学器件以及特殊材料等。

基板指的是一个大的法兰适配器，可以把一个位置低的腔体或者钟形罩连接到真空泵。基板通常有一个位于中心位置的端口或者法兰连接装置，可连接到真空抽气系统。

脱气箱或者脱气室通常是腔体结构，一般带有铰链接口，可连接不需要高真空环境的其他装置，如塑料样品、-、粘合剂、化学制品或其他液体的除气设备。

辅助井用于连接抽气系统和钟形罩。

基地井整合了基板和真空密封颈，用焊接接头取代一个真空密封件，可以同时实现基板和密封设备两个部件的功能。

真空腔体的焊接原则

真空腔体的弧焊接，原则上必须采用内焊，即焊接面是在真空一侧，以免存在死角而发生虚漏。

真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有机物，成为影响真空度的放气源。为实现真空，要对腔体进行150——250℃的高温烘烤，以促使材料表面和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带，加热带的外面再用铝箔包裹，防止热量散失的同时也可使腔体均匀受热。