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真空镀膜机镀前预处理和镀后处理方法

一、镀前预处理

镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面，为后获得高镀层作准备，要进行脱脂、去锈蚀、去灰尘等工作。

步骤如下：

一：使表面粗糙度达到一定要求，可通过表面磨光、抛光等工艺方法来实现；

二：去油脱脂，可采用溶剂溶解以及化学、电化学等方法来实现；

三：除锈，可用机械、酸洗以及电化学方法除锈；

四：活化处理，一般在弱酸中侵蚀一定时间进行镀前活化处理。

二、镀后处理

1、钝化处理

所谓钝化处理是指在一定的溶液中进行化学处理，在镀层上形成一层坚实致密的、稳定性高的薄膜的表面处理方法.钝化使镀层耐蚀性---提高并能增加表面光泽和抗污染能力。这种方法用途很广，镀zn、cu及ag等后，都可进行钝化处理。

2、除氢处理

有些金属如锌，在电沉积过程中，除自身沉积出来外，还会析出一部分氢，这部分氢渗入镀层中，使镀件产生脆性，甚至断裂，称为氢脆。为了消除氢脆，往往在电镀后，使镀件在一定的温度下热处理数小时，称为除氢处理。

给真空镀膜设备的真空泵换油该怎么做？

在使用真空镀膜设备时，对机器的保养工作是十分重要的。他能有效提高机器的寿命，那么对于其中的真空泵的换油工作，究竟该如何呢？我们通常在机器工作3个月时间左右，就要对机器的油进行更换，在比较湿润的地方或者湿润的气候，这种地方的空气对于真空泵中的润滑油的污染是非常---的，所以我们要根据情况缩短更换润滑油的时间。现在我就为您介绍下关于真空泵换油的操作。

我们首先要做的就是把真空泵从真空电镀系统中拆出来。将底盘电机一端垫高些，打开放油塞放油，转动真空泵、捂住排气口，使腔内污油全部从放油口放出。再从进气口处加入新油100—500ml持续转动5—10转以上，对内部进行清洗。照此操作3—5次，等到污油放清后，再装上放油塞，将真空泵放平从进气口及加油孔分别加入新油，换油即告完毕。真空泵换油的是不适宜长久的开动电机，以避免使排气阀片跳动太过于剧烈和疲劳。严禁使用---、酒精等对泵作非拆卸的清洗。

真空镀膜设备故障排除及检漏方法

真空镀膜设备故障排除及检漏方法在真空镀膜设备正常工作时,主开关电路中的开关管处于饱和导通状态,管压降保持在100v左右,栅极得到正偏压50v,高压指示6kv(或10kv)。从检测电路r21上得到的电压控制信号不---使d13稳压管击穿导通,bg14、bg15、bg16处于截止状态,而bg11、bg12、bg13处于导通状态,由bg11输出一个2.5v左右的高电位。栅压切换电路上的bg10得到2.5v的电压控制信号而处于导通状态,使得bg9的基极电位变为0电位而截止,主开关管通过d6、d7得到正向50v偏置的电压。同时bg7、bg8也处于导通状态,d8稳压管击穿导通,提供主开关管栅极恒定的电流。由于bg10处于导通状态,使得帘栅控制电路的bg4的基极处在0电位而截止,帘栅压的大小受高压分压器信号ur2的控制。当ur2<ud2时,输出的帘栅压的大小是随ur2的变化而变化。

在真空镀膜设备不正常情况下,增加束流时,由于束斑的位置不在中心,电子束可能会打到坩埚的边缘,或者束斑的位置在中心,但蒸镀的材料被打穿等原因,都会出现高压无指示。这是由于高压输出被近似短路,造成电子束流大于预定值,主开关管处于截止状态,承受全部高压,使得高压无输出。由于打火而造成过大的束流,在电流检测电路r21取得的过流信号,使得d13稳压管被击穿导通,bg14、bg15、bg16处于导通状态,c13通过bg14、r51放电,使得bg11、bg12、bg13很快截止,bg11输出为0v。栅压切换电路上的bg10得到0v的输入信号而截止,bg9---导通,550v正端通过bg9接到主开关管的阴极,负端通过d5管接到主开关管的栅极,主开关管得到-550v偏压而进入---截止,此时高压就没有指示了。