AB-11流量控制器价格信息「晓韬科技」
流量:
以单位时间内流过某截面的流体表示的流量。气体流量一般将其换算成标准状态下的 体积/分钟 来表示。例如:毫升/分钟即 ml/min sccm行业标准, 升/分钟即 l/min slm行业标准. 标准状态为:气体温度—— 27-k (0℃); 气压——101325pa(1atm)
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实际使用中发现,当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符,其实原因很简单,因为在mfc行业中,有一种参数叫cf,即气体转换系数下面简称cf。而mfc行业中又把n2氮气定义为标准气体m。n2的c值为1.00,其他的气体以氮气为中心,分布在0.1到1.4左右。cf大于1.00的代表气体是单原子气体he(-)、xe(氙)。和n2相近的气体有02氧气、h2氢气、f2氟等。0.5以下的有sf6、wf6、sicl4等。如果是几种气体的混合在一起的话,简单的分析其比率,用各自的cf值计算即可。
假设某台mfc是用n2标定的,但是实际流过的气体是he,实际的流量比n2多。各个厂家的he的cf值稍有不同,但大约都在1.4,所以简单的说就是he气相同示数时,是n2的1.4倍流量。反过来,如果n2流过he的mfc,实际的流量大约是1÷1.4=约0.71,少30%的流量。
因此控制器发现流量不准时,考虑出厂标定cf是否与你的气源相同
流量控制器的英文名字叫“mass flow controller”(简称mfc),它通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。
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