爱德华干式真空泵厂家热管行业真空系统「明胜机电」

维修爱德华真空泵 e2m80真空泵维修保养

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1：凡使用我司提供的真空泵耗材在正常使用过程中导致贵司的真空泵故障和异常，我司将免费负责处理和维修，并免费提供机器给客户备用，以-客户正常生产。

2：凡使用我司的真空泵耗材，正常使用过程中，在保用期内出现任何问题我司将对其免费更换。

3：在未涉及到真空设备组装、加工-的前提下，其它日常保养及维修，我司免费提供技术支持。

4：珠三角范围客户我司承诺24小时内派出-到达客户公司及时处理真空设备故障，东莞范围客户8小时到达。

e2m80真空泵维修保养覆盖地区：全国各地，珠三角地区可以提货，如有特殊需要可以提供现场维修。外地的一般是走物流，我司维修好后再邮寄回去。

镀膜机真空泵机组e2m275+eh1200

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英国edward爱德华真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气

而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中-、产生和维

持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体

传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

化学气相沉淀化学气相沉淀 (cvd) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。概述edwards是在一些严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用-之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。

干泵选择

cvd 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能-粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。对于实现-低的-压力的目的，必须选择矿物油的基础上，一个-馏分。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以-泵在应力下保持 旋转。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要-可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。定期检查电动机电流值，不得超过电动机额定电流泵长期运行后，由于机械磨损，使机组噪声级振动增大时，应停机检查，-时可更换易损零件及轴承，机组大修期一般为一年。对于某些 cvd 制程，需要在温度设上 达到平衡，以-避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。

真空泵是一种较为精密的机械设备，用户在使用过程中，真空泵抽真-免出现抽气量不足或者真空度不高的现象，引起这些现象的原因是很多的。

真空泵真空度降低该怎么办？

真空泵真空度降低的故障原因：管道密封不严，有漏气的地方;密封填料磨损;叶轮与端盖的间隙过大;水环温度过高(一般不应超过40℃)。

真空泵真空度降低的排除方法：拧紧法兰螺钉或更换衬套;更换填料;调整间隙(一般应为0.15～0.2mm);增加水量并降低进水温度。