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爱德华进口分子泵维修分子泵「在线咨询」

发布者:广州潽拓光电科技有限公司  时间:2021-11-14 











我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,pfeiffer,alcatel,agilent(varian),boc edwards,osaka,ulvac,shimadzu等-品牌分子泵,真空泵,真空计维修保养/销售等业务


广州潽拓——爱德华抽真空泵,一般输液泵


edwards-8爱德华抽真空泵,一般输液泵特点

1在较宽的压力范围内有较大的抽速;

2转子具有-的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大-低驱动功率,从而可实现较高转速;

3泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;

4泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;  




1)泵总体结构型式

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。

立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的重xin较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。

卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重xin低,高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。0*10-7mbar*持续模拟生产现场测试24小时*0-20khz震动频谱加速度分析。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。但泵重xin心较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。







潽拓——{精},分子泵

edwards e2m28双级油封式旋片机械真空泵



edwards em系列泵是结实-的机械油封泵,抽速为 0.7 到 275 m3/hr30 到 206 cfm。这些泵结构紧凑,使用时非常安静,具备-的润滑回路,-性高,配有各种附件,可以满足特定的应用需求。edwards在全球拥有4,000多名雇员,从事于-真空和尾气管理设备的设计、制造和支持。




em18 与 em 28系列的油封旋转泵,该泵是自由放置的装置,其传动由一个单相或三相四极电机通过活动联结器提供。

edwards em系列泵特性和优点:

? -性

-且稳定的制程 - 即使是在高气体负荷下也可提供有效的润滑

? 稳定

无制程污染 - 油和空气反吸保护

? 性能

长期- - 传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承

? 再-

安心 - 经过多年尝试、测试,已经成为工业标准

-且稳定 - 高真空性能





爱德华stp-ixa3306cv_edwards stp-ixa3306cv涡轮分子泵



edwards stp-ixa3306cv分子泵用途:

薄膜沉积 cvd、pecvd、ecrcvd、mocvd

溅射

离子注入源,射束线泵送和站

金属铝、钨和电介质氧化物以及多晶硅等离子刻蚀氯化物、-物和化物

电子回旋共振 (ecr) 刻蚀









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