真空镀膜系统厂家常用指南「艾明坷」
真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品和生产进程等,为了使设备的运行状况-,必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。
设备的维护要有日常维护和定期维护
1,日常维护就是在当天生产中发现设备有-迹象,就马上解决。发现机械泵的油少了就要添加,不要认为这油是定期更换的,等到了时间再维护,到时候可能泵的转子就会磨损-了。再比如工件转架的轴承有些卡,就要更换轴承,而等到它-的坏了再换,问题可就大了,可能引起转架电机烧毁等现象。做好这一点可少走好多弯路,其次是要善于分析现象,不能盲目的拆卸。
2定期维护,有人会问有了日常维护还有-定期维护吗?在长时间的加热过程中,镀膜机很难避免传感器为敏感的区域,导致薄膜的重大错误。其实每一种设备都有自己的使用寿命,比如扩散泵用的的硅油,使用寿命为两年左右,我就规定1年半把它换掉,这样作是不是浪费,我觉得不浪费,从设备服务于生产来说是值得的,老板不希望看到的是机器在生产阶段出现问题。只要你把日常维护和定期维护做好了,在延长设备寿命的同时,生产过程中出现故障的几率也大-低。生产效率也提高了。
3,设备保养和维修1重要的是讲究“细心”,每一个人都力求做到“我办事,你放心”,也就是说我做的事情不需要别人和自己再有怀疑!真空镀膜机的详细结构高真空镀膜机,镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的设备。做好这一点可少走好多弯路,其次是要善于分析现象,不能盲目的拆卸。说到这里,很多人都遇到过真空方面的漏气问题,真空部分出现了问题很麻烦,再加上我们公司没有检漏仪,这就要分阶段来找。
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真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。另外,有的真空泵不能在-压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于-压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。只要你把日常维护和定期维护做好了,在延长设备寿命的同时,生产过程中出现故障的几率也大-低。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2bv系列水环真空泵工作压强范围760mmhg~25mmhg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmhg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmhg下长期工作。其它化合物-锌zns,-znse,氮化钛tin,碳化硅sic,钛酸-latio3,钛酸钡batio3,钛酸-srtio3,钛酸镨prtio3,硫1化镉cds等真空镀膜材料。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的-真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmhg的工作真空度,选用的真空泵的-真空度至少要2mmhg,1好能达到1mmhg。通常选择泵的-真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
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